超磁致伸缩微致动器的磁场有限元分析

作为超精密隔振系统的核心部件,超磁致伸缩微致动器的工作性能直接影响隔振精度。在建立超磁致伸缩微致动器的轴对称模型的基础上,利用有限元方法对致动器的磁场进行分析,并通过数值积分方法计算在不同励磁电流下超磁致伸缩棒的伸长量,根据计算结果对致动器的线性工作范围作出了有效的估计。