Si C陶瓷材料具有许多优异的性能如高比强度、高比模量、低密度、高硬度、高导热系数、低的热膨胀系数、耐腐蚀、抗氧化等 ,从而被广泛用作高温结构部件。CVD工艺灵活 ,制备的 Si C陶瓷具有很高纯度和致密度 ,因而是制备先进 Si C陶瓷...Si C陶瓷材料具有许多优异的性能如高比强度、高比模量、低密度、高硬度、高导热系数、低的热膨胀系数、耐腐蚀、抗氧化等 ,从而被广泛用作高温结构部件。CVD工艺灵活 ,制备的 Si C陶瓷具有很高纯度和致密度 ,因而是制备先进 Si C陶瓷的最有希望的工艺之一。对 CVD法制备 Si C涂层和 Si展开更多
文摘Si C陶瓷材料具有许多优异的性能如高比强度、高比模量、低密度、高硬度、高导热系数、低的热膨胀系数、耐腐蚀、抗氧化等 ,从而被广泛用作高温结构部件。CVD工艺灵活 ,制备的 Si C陶瓷具有很高纯度和致密度 ,因而是制备先进 Si C陶瓷的最有希望的工艺之一。对 CVD法制备 Si C涂层和 Si