SIMS溅射深度剖析的定量分析

本文综述了二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectroscopy,SIMS)溅射深度剖析的发展历史,介绍了SIMS溅射深度剖析的定量分析方法。对两个最常用于SIMS溅射深度剖析定量分析的理论模型——Hofmann提出的MRI(Mixing-Roughness-Information depth)模型和Dowsett等人提出的响应函数进行了对比分析。

辉光放电发射光谱在材料成分-深度分析中的应用

本文首先对辉光放电发射光谱(Glow Discharge Optical Emission Spectrometry-GDOES)基本原理做了简单评述,重点说明了对测量的材料成分-深度实验数据的定量分析。随后介绍了GDOES在材料表面、薄膜和涂层等领域的应用。最后给出了利用MRI模型对GDOES深度剖析数据定量分析的实例。