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TiN/H-DLC薄膜的制备及其性能研究
被引量:
2
1
作者
勾荣年
尚伦霖
+1 位作者
曹学乾
王顺花
《真空与低温》
2021年第5期430-438,共9页
为了探究用复合技术制备的DLC复合薄膜的力学性能和耐腐蚀性能,采用多弧离子镀(MAIP)和非平衡磁控溅射技术(UBMS)分别在316L不锈钢基底上沉积了H-DLC、TiN和TiN/H-DLC薄膜。采用三维轮廓仪、扫描电镜以及拉曼光谱分析薄膜的形貌和微观结...
为了探究用复合技术制备的DLC复合薄膜的力学性能和耐腐蚀性能,采用多弧离子镀(MAIP)和非平衡磁控溅射技术(UBMS)分别在316L不锈钢基底上沉积了H-DLC、TiN和TiN/H-DLC薄膜。采用三维轮廓仪、扫描电镜以及拉曼光谱分析薄膜的形貌和微观结构,采用纳米压痕仪、划痕仪、CSM摩擦试验机和电化学工作站表征了薄膜的纳米硬度、膜基结合力、摩擦学性能和耐腐蚀性能。结果表明,用多弧离子镀引入TiN层能够有效提高TiN/H-DLC复合薄膜的结合力并降低摩擦因数,但是薄膜的磨损率未明显降低,其原因可能是表面粗糙度的影响;H-DLC薄膜表面较为致密,在3.5%NaCl溶液中具有较好的耐腐蚀性能。复合制备技术可改善TiN/H-DLC薄膜的力学性能和特定环境下的耐腐蚀性能。
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关键词
复合制备技术
TiN/H-DLC复合薄膜
摩擦学性能
耐腐蚀性
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职称材料
题名
TiN/H-DLC薄膜的制备及其性能研究
被引量:
2
1
作者
勾荣年
尚伦霖
曹学乾
王顺花
机构
兰州交通大学材料科学与工程学院
中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
出处
《真空与低温》
2021年第5期430-438,共9页
基金
国家自然科学基金(51862022、11905273)。
文摘
为了探究用复合技术制备的DLC复合薄膜的力学性能和耐腐蚀性能,采用多弧离子镀(MAIP)和非平衡磁控溅射技术(UBMS)分别在316L不锈钢基底上沉积了H-DLC、TiN和TiN/H-DLC薄膜。采用三维轮廓仪、扫描电镜以及拉曼光谱分析薄膜的形貌和微观结构,采用纳米压痕仪、划痕仪、CSM摩擦试验机和电化学工作站表征了薄膜的纳米硬度、膜基结合力、摩擦学性能和耐腐蚀性能。结果表明,用多弧离子镀引入TiN层能够有效提高TiN/H-DLC复合薄膜的结合力并降低摩擦因数,但是薄膜的磨损率未明显降低,其原因可能是表面粗糙度的影响;H-DLC薄膜表面较为致密,在3.5%NaCl溶液中具有较好的耐腐蚀性能。复合制备技术可改善TiN/H-DLC薄膜的力学性能和特定环境下的耐腐蚀性能。
关键词
复合制备技术
TiN/H-DLC复合薄膜
摩擦学性能
耐腐蚀性
Keywords
duplex deposition technology
TiN/H-DLC film
tribological properties
corrosion resistance
分类号
TG43 [金属学及工艺—焊接]
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
TiN/H-DLC薄膜的制备及其性能研究
勾荣年
尚伦霖
曹学乾
王顺花
《真空与低温》
2021
2
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职称材料
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