Sol－Gel法合成TiO_2纳米粉末和薄膜

用Ｓｏｌ－Ｇｅｌ法成功地合成了ＴｉＯ_２纳米粉末和薄膜．研究了工艺参数如热处理温度，保温时间等因素对材料结构和物性的影响，粉末的平均粒径为３～１００ｎｍ，比表面积为１７～２５１ｍ￣２／ｇ，其在室温至７５０℃之间经历无定形态→锐钛矿→锐钛矿与金红石共存→金红石的相交；以石英玻璃和单晶硅为基片，采用勺胶法获得了沿（１０１）择优取向的金红石薄膜，研究表明，薄膜经锐钛矿转变为金红石的转变温度固基片不同而异，但比凝胶粉末的转变温度高．

(Pb,Ca)TiO_3纳米晶粉末的溶胶凝胶合成及表征

以醋酸铅，硝酸钙和钛酸丁酯为原料，采用溶胶凝胶法成功地制备了（Ｐｂ，Ｃａ）ＴｉＯ３纳米晶粉末，并通过ＸＲＤ、ＦＴＩＲ、ＤＴＡ、ＴＧ、ＴＥＭ等方法对纳米粉末的结构进行了表征，粉末粒径为３０～５０ｎｍ，大小均匀，颗粒呈椭球形。

金属有机物热分解法合成的PZT纳米晶粉末的表征

以醋酸铅、庚酸氧锆和钛酸丁酯为原料，采用金属有机物热分解法成功地制备了ＰＺＴ纳米晶粉末，并通过ＸＲＤ，ＦＴＩＲ，ＤＴＡ，ＴＧ，Ｒａｍａｎ，ＴＥＭ等方法对纳米粉末的结构进行了表征．粉末粒径为２０—４０ｎｍ，大小均匀，颗粒呈球形，且分散性好．研究结果显示，金属有机物热分解法是制备ＰＺＴ或其它纳米粉末的一种很有前途的方法．

Sol－Gel法合成K（Ta，Nb）O_3材料

以金属醇盐乙酸钾［Ｋ（ＯＣ２Ｈ５）］，乙醇铌［Ｎｂ（ＯＣ２Ｈ５）５］和乙醇钽［Ｔａ（ＯＣ２Ｈ５）５］为原料，用Ｓｏｌ－Ｇｅｌ法合成了Ｋ（Ｔａ，Ｎｂ）Ｏ３超细粉末和薄膜，研究了工艺参数如前驱体溶液浓度、热处理温度等因素对材料结构及物性的影响．粉料的粒径为２０～４０ｎｍ，所需合成温度约为７００℃，比通过传统的固相反应制备同种材料的合成温度低近１００℃；以ＳｒＴｉＯ３（１００）单晶作基片，采用匀胶法获得了沿（１００）高取向生长的Ｋ（Ｔａ０．６５Ｎｂ０．３５）Ｏ３薄膜，薄膜表面均匀、致密，室温时呈立方相晶格结构．研究表明，选择物理性质相似、晶格常数相匹配的材料作基片，适当控制工艺参数，尤其是前驱体溶液的浓度、升降温速度及烧结温度是获得优质薄膜的关键．

TiO_2薄膜的Sol－gel制备及结构分析

以正钛酸丁酯、无水乙醇和冰醋酸为原料，采用Ｓｏｌ－ｇｅｌ工艺匀胶技术在石英玻璃和单晶硅衬底上成功地制备了ＴｉＯ＿２薄膜，薄膜表面均匀、致密，无裂纹。研究表明，随热处理温度的提高，薄膜经锐钛矿转变为金红石结构，其转变温度因衬底不同而异，但比凝度粉末的转变温度高。金红石结构的ＴｉＯ＿２薄膜具有一定的择优取向性，其品位大小为０．０５～０．１５μｍ．

溶胶-凝胶法制备高取向K(Ta,Nb)O_3薄膜

K(Ta,Nb)O_3具有良好的电光特性、非线性光学特性和热释电特性.K(Ta,Nb)O_3薄膜在光电子集成电路中有着良好的应用前景.国外主要是进行K(Ta,Nb)O_3单晶和陶瓷的研究工作,近年来也有制备K(Ta,Nb)O_3薄膜的报导.我们采用溶胶-凝胶法制备KTa_(0.65)Nb_(0.35)O_3薄膜.制备过程如下:把Ta(OC_2H_5)_5,Nb(OC_2H_5)_5和K(OC_2H_5)溶于无水C_2H_5OH 中配成0.

PZT薄膜的MOD制备及形成机理研究

采用金属有机物热分解（ＭＯＤ）工艺在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上制备锆钛酸铅（ＰＺＴ）薄膜．ＸＲＤ分析显示薄膜结晶状况良好，无焦绿石相存在．ＡＥＳ测量表明：薄膜成分沿膜厚均匀分布，膜中无碳存在，表面不富含铅．分析了薄膜的形成机理，定性地解释了晶粒的生长过程．

溶胶凝胶工艺制备功能陶瓷纤维

溶胶凝胶工艺在制备功能陶瓷材料（粉末、体材、薄膜）方面已显示出重要的应用。近年来，一些研究者用这种工艺制作功能陶瓷纤维，并取得了较大进展。溶胶凝胶工艺尤其适合制作传统的熔融法不能或不易获得的功能陶瓷纤维。本文简要地介绍了这一工艺制备功能陶瓷纤维的工艺过程，着重评述了铁电、压电陶瓷纤维，高温超导纤维的研究现状。

铁电薄膜的微图形化研究

铁电薄膜在微电子和光电子技术中有着重要的或潜在的应用，可以制作随机存取存储器，热释电阵列探测器，铁电微电子机械系统等。在这些器件的制作过程中，铁电薄膜的微图形化是非常重要的一环。本文简要介绍了几种重要的铁电薄膜微图形化方法及有关研究结果，并比较了这些方法的优缺点。

铁电薄膜研究的一些新动向

从Y1铁电薄膜材料、外延铁电薄膜、介电超晶格、铁电薄膜的制备工艺及原位检测几个方面介绍了铁电薄膜研究的一些新动向。

薄膜压电性能的测量方法

压电薄膜在微传感器和微致动器方面的应用日益受到重视。薄膜压电性能的测量方法与体材相比有很大不同。本文介绍了几种测量薄膜压电特性的方法，包括：激光干涉仪法，扫描探针显微镜法，垂直加载法等，并比较了这些方法的优缺点。

K（Ta，Nb）O_3薄膜中钙钛矿相的形成机理研究

研究了工艺参数和衬底材料对Ｋ（Ｔａ，Ｎｂ）Ｏ３薄膜生长的影响，研究表明钙钛矿相由焦绿石中问相转变而成，热处理时低速升温同样可以获得纯钙钛矿相的Ｋ（Ｔａ，Ｎｂ）Ｏ３薄膜，分析了（１００）ＳｒＴｉＯ３，（１００）ＭｇＯ单晶衬底上钙钛矿相的形成机理，并解释了在硅单晶和石英玻璃衬底上纯钙钛矿结构的Ｋ（Ｔａ。

压电微悬臂在原子力显微镜中的应用

微悬臂是原子力显微镜中最重要的部件之一。用压电微悬臂代替常用的Ｓｉ、ＳｉＯ２或Ｓｉ３Ｎ４微悬臂后的原子力显微镜有一些独特的优点。由于压电微悬臂中的压电薄膜具有压电效应，因此它既可致动微悬臂，又可探测微悬臂的位移量，使得原子力显微镜的结构简单、响应速度快、扫描速度加快。文中简要介绍了压电微悬臂的制作过程，分析了压电微悬臂在原子力显微镜中的各种应用及相应的原子力显微镜的工作原理和有关结果，并与普通原子力显微镜进行了比较。

外延铁电薄膜的研究进展

铁电薄膜具有优良的铁电、压电、热释电、电光、声光及非线性光学特性，在微电子学、光电子学及集成光学等领域有许多重要应用。近年来，随着铁电薄膜制备技术的发展，外延铁电薄膜的研究已受到广泛重视。文章对外延铁电薄膜的研究现状作了简要评述，并指出了目前存在的一些问题和未来的发展方向。

MOD制备的PZT薄膜的相结构发展和成分分析

采用MOD工艺制备了PZT薄膜，利用XRD和TEM研究了焦绿石相向钙钛矿相的转变过程．制备在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上的PZT薄膜，其XRD分析显示焦绿石相在600℃完全转变为钙钛矿相；与之相比，Pt箔上无支持的PZT薄膜，其TBM分析表明PZT焦绿石相完全转变为钙钛矿相的温度更高，且与薄膜的厚度有关．XPS研究表明，薄膜表面含有化学吸附氧和污染碳，无其它杂质存在.表面富含少量Pb，其Zr／Ti比与化学计量比一致，但晶格中缺氧．

Y_1铁电薄膜材料研究进展

曾经引起铁电学界轰动的Ｙ１材料，其组成已公之于世，其结构为（Ｂｉ２Ｏ２）２＋（Ａｎ－１ＢｎＯ３ｎ＋１）２－氧化铋基层状铁电材料。目前研究较多的是ＳｒＢｉ２Ｔａ２Ｏ９，ＳｒＢｉ２Ｎｂ２Ｏ９以及它们的固溶体。文章介绍了有关Ｙ１材料的研究背景。

压电微电机之综述

利用压电薄膜的低温沉积工艺与微机械加工技术结合可以制作出压电微电机。这种压电微电机在医用微型器械，自聚焦系统，精密微定位、微型机器人等领域有着重要应用。本文介绍了几种压电微电机的制作过程、结构、工作原理及有关结果，并指出了目前存在的问题和下一步研究发展的方向。

介电多层膜与人工介电超晶格的研究

近年来，铁电薄膜制备技术的迅速发展使得人工介电超晶格的生长成为现实。简要介绍了有关介电多层膜和人工介电超晶格的制备、结构和性能的研究状况，讨论了进一步研究需解决的问题。

铁电存储器研究进展

近几年来,铁电存储器研究取得了很大进展.铁电存储器因其所具有的许多优越性和良好的应用前景而受到人们的广泛关注和重视.本文介绍了铁电存储器的工作原理及设计与制作方法.并对其研究现状及进一步发展趋势作了简要的评述.

铁电多层膜与铁电超晶格

铁电多层膜和铁电超晶格是改善铁电薄膜性能并探索新的物理现象的有效途经.作者结合自己的研究工作,介绍了铁电多层膜和铁电超晶格的研究现状和进展.