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采用SiO_2/Si系扩镓提高扩散质量和器件性能的研究 被引量:16
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作者 刘秀喜 赵富贤 +2 位作者 薛成山 孙瑛 华士奎 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期235-240,共6页
镓杂质均可在裸Si系和SiO2/Si秒中扩散,但棵Si扩镓易在硅表面产生富镓合金点、凹坑和"白霜",导致器件低、软的击穿等,为了清除表面缺陷对器件性能的影响,采用SiO2/Si系扩镓进行了研究.经过实验和长期应用,这... 镓杂质均可在裸Si系和SiO2/Si秒中扩散,但棵Si扩镓易在硅表面产生富镓合金点、凹坑和"白霜",导致器件低、软的击穿等,为了清除表面缺陷对器件性能的影响,采用SiO2/Si系扩镓进行了研究.经过实验和长期应用,这是克服表面影响的行之有效的方法.本文对二种扩散方式所产生的不同结果,进行了分析和讨论. 展开更多
关键词 扩散 二氧化硅 半导体器件
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利用国内引进的文献磁带开展计算机定题服务工作
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作者 华士奎 《山东图书馆学刊》 1984年第3期57-59,共3页
现代科学技术的迅速发展,为图书情报工作提供了现代化的手段,特别是电子计算机和通讯技术在藏书情报工作中的应用,使图书情报工作发生了巨大的变化,在情报检索领域中,文献数据库(文献数据磁带)是提供情报检索的新型情报源,利用计算机检... 现代科学技术的迅速发展,为图书情报工作提供了现代化的手段,特别是电子计算机和通讯技术在藏书情报工作中的应用,使图书情报工作发生了巨大的变化,在情报检索领域中,文献数据库(文献数据磁带)是提供情报检索的新型情报源,利用计算机检索数据库,极大地提高了图书情报工作的效能,从根本上改变了查找资料的手工作业方式,大大加快了情报信息的传播速度,变被动服务为主动服务,广、快、精、 展开更多
关键词 图书情报工作 定题服务 情报检索 手工作业方式 被动服务 检索者 《生物学文摘》 传播速度 《科学文摘》 脱机检索
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