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氧化镓单晶在酸碱条件下的腐蚀坑形貌研究
1
作者
高崇
韦金汕
+5 位作者
欧阳政
何敬晖
王增辉
卜予哲
赛青林
赵鹏
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2023年第12期2186-2195,共10页
氧化镓晶体材料由于其优异的性能以及可以用熔体法生长的优势,在功率器件、光电领域有着巨大的潜力。近年来,国内外众多专家也随之开展对氧化镓单晶材料的研究工作,高质量低缺陷的氧化镓单晶材料对后续的外延、器件的制备极其重要。目前...
氧化镓晶体材料由于其优异的性能以及可以用熔体法生长的优势,在功率器件、光电领域有着巨大的潜力。近年来,国内外众多专家也随之开展对氧化镓单晶材料的研究工作,高质量低缺陷的氧化镓单晶材料对后续的外延、器件的制备极其重要。目前,国际上主流的生长方法是导模法,导模法具有生长周期短、尺寸大及生长稳定等优点,然而在晶体缺陷控制方面还有很大的进步空间。本文围绕氧化镓单晶的腐蚀坑形貌,对导模法生长的氧化镓单晶进行加工制样,进行了不同酸碱条件下的腐蚀实验。详细介绍了观察到的不同腐蚀坑形貌,分析了晶体缺陷对腐蚀坑形貌的影响,对今后氧化镓单晶生长机理和晶体缺陷的研究具有重要意义。
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关键词
氧化镓单晶
导模法
缺陷
腐蚀
腐蚀坑形貌
单晶生长
下载PDF
职称材料
题名
氧化镓单晶在酸碱条件下的腐蚀坑形貌研究
1
作者
高崇
韦金汕
欧阳政
何敬晖
王增辉
卜予哲
赛青林
赵鹏
机构
北京中材人工晶体研究院有限公司
中材人工晶体研究院有限公司
华南师范大学半导体科学与技术学院
杭州光学精密机械研究所
中材高新材料股份有限公司
中国科学院上海光学精密机械研究所
中国科学院大学材料科学与光电技术学院
出处
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2023年第12期2186-2195,共10页
基金
国家重点研发计划(2022YFB3605500)
北京市科技新星计划(20230484381)。
文摘
氧化镓晶体材料由于其优异的性能以及可以用熔体法生长的优势,在功率器件、光电领域有着巨大的潜力。近年来,国内外众多专家也随之开展对氧化镓单晶材料的研究工作,高质量低缺陷的氧化镓单晶材料对后续的外延、器件的制备极其重要。目前,国际上主流的生长方法是导模法,导模法具有生长周期短、尺寸大及生长稳定等优点,然而在晶体缺陷控制方面还有很大的进步空间。本文围绕氧化镓单晶的腐蚀坑形貌,对导模法生长的氧化镓单晶进行加工制样,进行了不同酸碱条件下的腐蚀实验。详细介绍了观察到的不同腐蚀坑形貌,分析了晶体缺陷对腐蚀坑形貌的影响,对今后氧化镓单晶生长机理和晶体缺陷的研究具有重要意义。
关键词
氧化镓单晶
导模法
缺陷
腐蚀
腐蚀坑形貌
单晶生长
Keywords
gallium oxide single crystal
edge-defined film-fed growth method
defect
corrosion
corrosion pit morphology
crystal growth
分类号
O734 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氧化镓单晶在酸碱条件下的腐蚀坑形貌研究
高崇
韦金汕
欧阳政
何敬晖
王增辉
卜予哲
赛青林
赵鹏
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2023
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