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Breakdown Voltage and Charge to Breakdown Investigation of Gate Oxide of 0.18μm Dual Gate CMOS Process with Different Measurement Methods 被引量:2
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作者 赵毅 万星拱 +2 位作者 徐向明 曹刚 卜皎 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期290-293,共4页
Breakdown voltage (Vbd) and charge to breakdown (Qbd) are two parameters often used to evaluate gate oxide reliability. In this paper,we investigate the effects of measurement methods on Vbd and Qbd of the gate ox... Breakdown voltage (Vbd) and charge to breakdown (Qbd) are two parameters often used to evaluate gate oxide reliability. In this paper,we investigate the effects of measurement methods on Vbd and Qbd of the gate oxide of a 0.18μm dual gate CMOS process. Voltage ramps (V-ramp) and current ramps (J-ramp) are used to evaluate gate oxide reliability. The thin and thick gate oxides are all evaluated in the accumulation condition. Our experimental results show that the measurement methods affect Vbd only slightly but affect Qbd seriously,as do the measurement conditions.This affects the I-t curves obtained with the J-ramp and V-ramp methods. From the I-t curve,it can be seen that Qbd obtained using a J-ramp is much bigger than that with a V-ramp. At the same time, the Weibull slopes of Qbd are definitely smaller than those of Vbd. This means that Vbd is more reliable than Qbd, Thus we should be careful to use Qbd to evaluate the reliability of 0.18μm or beyond CMOS process gate oxide. 展开更多
关键词 gate oxide reliability voltage to breakdown charge to breakdown voltage ramp current ramp
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HDP介质淀积引起的等离子充电损伤机制研究 被引量:1
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作者 王鹏 卜皎 +5 位作者 刘玉伟 曹刚 石艳玲 刘春玲 李菲 孙玲玲 《电子器件》 CAS 2009年第3期526-528,共3页
高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD),具有卓越的填孔能力和可靠的电学特性等诸多优点,因此它被广泛应用于超大规模集成电路制造工艺中。本文研究了金属层间介质(IMD)的HDP CVD过程对栅氧化膜的等离子充电损伤。研究表明在HDP淀积结束... 高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD),具有卓越的填孔能力和可靠的电学特性等诸多优点,因此它被广泛应用于超大规模集成电路制造工艺中。本文研究了金属层间介质(IMD)的HDP CVD过程对栅氧化膜的等离子充电损伤。研究表明在HDP淀积结束时的光电导效应使得IMD层(包括FSG和USG)在较短的时间内处于导电状态,较大电流由IMD层流经栅氧化膜,在栅氧化膜中产生缺陷,从而降低了栅氧化膜可靠性。通过对HDP CVD结束后反应腔内气体组分的调节,IMD层的光电导现象得到了一定程度的抑制,等离子充电损伤得到了改善。 展开更多
关键词 等离子体充电损伤 高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD) 栅氧化膜 光电导
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例谈单元主题意义引领下的故事教学
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作者 卜皎 《小学教学设计》 2023年第3期99-102,共4页
《义务教育英语课程标准(2022年版)》指出,教师要强化素养立意,围绕单元主题,充分挖掘育人价值。本文将以PEP《英语》六年级下册Unit 1 How tall are you?Part C Story time为例,提出单元主题引领下开展故事教学的实施策略,探索引导学... 《义务教育英语课程标准(2022年版)》指出,教师要强化素养立意,围绕单元主题,充分挖掘育人价值。本文将以PEP《英语》六年级下册Unit 1 How tall are you?Part C Story time为例,提出单元主题引领下开展故事教学的实施策略,探索引导学生开展单元主题意义探究的有效路径,促进学生核心素养的发展。 展开更多
关键词 小学英语:单元主题意义引领 故事教学
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实现小学英语学科育人价值的四个路径聚焦 被引量:3
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作者 卜皎 《小学教学设计》 2020年第30期4-6,共3页
全面落实学科核心素养,实现英语学科的育人价值,需要从课堂、从教学中来实现。下面,笔者将以课例为载体,阐述在课堂教学中实现小学英语学科育人价值的有效路径尝试。
关键词 小学英语 学科核心素养 课例 学科育人价值 英语学科 课堂教学中 有效路径 全面落实
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