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电镀铜均匀性影响因素的分析与优化
被引量:
1
1
作者
李玖娟
陈苑明
+2 位作者
何为
陈先明
占宏斌
《印制电路信息》
2016年第A01期96-102,共7页
目前PCB电镀业界主要使用龙门电镀线,其优势为产能高、操作方便,但其电镀均匀性相对其他类型电镀线没有优势。讨论了龙门电镀线电镀时各种参数对电镀铜层均匀性影响,并进行正交优化试验。利用正交试验研究电镀参数对电镀铜层均匀性...
目前PCB电镀业界主要使用龙门电镀线,其优势为产能高、操作方便,但其电镀均匀性相对其他类型电镀线没有优势。讨论了龙门电镀线电镀时各种参数对电镀铜层均匀性影响,并进行正交优化试验。利用正交试验研究电镀参数对电镀铜层均匀性影响的主次关系,并由Mirlitab软件对实验结果进行分析。实验结果表明电镀参数控制为除油时间600s,电镀时间15min,电流密度1.0A/dm^2,钛篮与阳极距离为12.5cm能明显改善电镀铜层均匀性,标准差降低为0.160,COV降低为5.15%。而微蚀时间和阴极边务宽度改变也能影响铜层均匀性,但效果不显著。
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关键词
龙门电镀线
电镀铜
均匀性
正交试验
下载PDF
职称材料
题名
电镀铜均匀性影响因素的分析与优化
被引量:
1
1
作者
李玖娟
陈苑明
何为
陈先明
占宏斌
机构
电子科技大学微电子与固体电子学院
珠海越亚封装基板技术股份有限公司
出处
《印制电路信息》
2016年第A01期96-102,共7页
基金
广东省2013年重大专项的资助(项目编号:2013A090100005).
文摘
目前PCB电镀业界主要使用龙门电镀线,其优势为产能高、操作方便,但其电镀均匀性相对其他类型电镀线没有优势。讨论了龙门电镀线电镀时各种参数对电镀铜层均匀性影响,并进行正交优化试验。利用正交试验研究电镀参数对电镀铜层均匀性影响的主次关系,并由Mirlitab软件对实验结果进行分析。实验结果表明电镀参数控制为除油时间600s,电镀时间15min,电流密度1.0A/dm^2,钛篮与阳极距离为12.5cm能明显改善电镀铜层均匀性,标准差降低为0.160,COV降低为5.15%。而微蚀时间和阴极边务宽度改变也能影响铜层均匀性,但效果不显著。
关键词
龙门电镀线
电镀铜
均匀性
正交试验
Keywords
Gantry Electroplating Line
Copper Plating
Uniformity
Orthogonal Test
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电镀铜均匀性影响因素的分析与优化
李玖娟
陈苑明
何为
陈先明
占宏斌
《印制电路信息》
2016
1
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职称材料
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