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高g值MEMS加速度传感器敏感元件的结构分析
被引量:
5
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作者
宋萍
李科杰
+1 位作者
石庚辰
卢四华
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2002年第4期14-16,共3页
介绍了几种高 g值 MEMS加速度传感器敏感元件的结构和原理 ,并对其结构特性进行了分析 ,最后给出了研究过程中所采用的圆膜片结构和仿真结果。
关键词
G值
MEMS
加速传感器
结构分析
敏感元件
引信
下载PDF
职称材料
题名
高g值MEMS加速度传感器敏感元件的结构分析
被引量:
5
1
作者
宋萍
李科杰
石庚辰
卢四华
机构
北京理工大学机电学院
出处
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2002年第4期14-16,共3页
文摘
介绍了几种高 g值 MEMS加速度传感器敏感元件的结构和原理 ,并对其结构特性进行了分析 ,最后给出了研究过程中所采用的圆膜片结构和仿真结果。
关键词
G值
MEMS
加速传感器
结构分析
敏感元件
引信
Keywords
MEMS
accelerometer
analyse of the structure of sensing elements
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TJ430.35 [兵器科学与技术—火炮、自动武器与弹药工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
高g值MEMS加速度传感器敏感元件的结构分析
宋萍
李科杰
石庚辰
卢四华
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2002
5
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