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电容式微机械超声换能器的声学封装方法
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作者 卢小星 何常德 +6 位作者 党荣 崔建功 张国军 王任鑫 杨玉华 贾利成 张文栋 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第12期1989-1995,共7页
针对水下超声检测的迫切应用需求,提出了一种电容式微机械超声换能器(CMUT)水密封装方法,选用聚氨酯(PU)和聚二甲基硅氧烷(PDMS)完成了CMUT封装。对封装后的CMUT主要性能参数进行测试和对比得出,PU和PDMS封装后的CMUT中心工作频率分别约... 针对水下超声检测的迫切应用需求,提出了一种电容式微机械超声换能器(CMUT)水密封装方法,选用聚氨酯(PU)和聚二甲基硅氧烷(PDMS)完成了CMUT封装。对封装后的CMUT主要性能参数进行测试和对比得出,PU和PDMS封装后的CMUT中心工作频率分别约为1.75和2.05 MHz,3 dB相对带宽比分别达到了97.14%和92.68%,展示出优异的宽频带特性。PU封装的CMUT最大发射电压响应和接收灵敏度较PDMS封装的CMUT分别高出0.14和1.21 dB,且其输出声压能力在1~20 cm范围内高于PDMS封装的CMUT。该研究结果验证了两种材料封装的CMUT都能够满足水下超声检测应用要求,为CMUT水密封装方法优化提供了理论和实验依据。 展开更多
关键词 电容式微机械超声换能器(CMUT) 微电子机械系统(MEMS) 水下超声检测 水密封装 聚氨酯(PU) 聚二甲基硅氧烷(PDMS)
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电容式微机械超声换能器的水下收发性能 被引量:2
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作者 党荣 卢小星 +6 位作者 何常德 彭波 张国军 王任鑫 杨玉华 崔建功 张文栋 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第6期868-875,共8页
为满足水下超声探测的应用需求,设计了一种采用硅基集成电路制造工艺制备的电容式微机械超声换能器(CMUT)。首先介绍了CMUT的工作原理及其结构参数,然后完成了CMUT的水密封装,最后对封装后CMUT的电容-电压(C-V)特性、发送电压响应级、... 为满足水下超声探测的应用需求,设计了一种采用硅基集成电路制造工艺制备的电容式微机械超声换能器(CMUT)。首先介绍了CMUT的工作原理及其结构参数,然后完成了CMUT的水密封装,最后对封装后CMUT的电容-电压(C-V)特性、发送电压响应级、接收灵敏度与回波信号进行测试。测试结果表明,封装后的CMUT具有良好的C-V特性,电容变化量最大可达313.7 pF,其发送电压响应级最大值为163.83 dB@2 MHz,接收灵敏度最大值为-228.27 dB@1 MHz,因此其在水下环境具备良好的发射超声波与接收超声波的能力。该研究结果为高密度CMUT阵列的设计和封装及水下超声探测提供了理论和应用依据。 展开更多
关键词 电容式微机械超声换能器(CMUT) 水下超声探测 水密封装 发送电压响应级 接收灵敏度
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加拿大渥太华大学医学院医学生培养的现状及特点 被引量:4
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作者 唐勇 梁霞 +5 位作者 张春燕 卢小星 王云 李秀宁 韦长元 葛莲英 《中国高等医学教育》 2014年第6期29-30,共2页
加拿大渥太华大学的医学教育奉行精英培养模式,培养形式多样,课程设置合理、灵活、涵盖范围广,强调了社区医疗服务的同时也涵盖了边远地区的医学教育以及医学继续教育。其医学生培养模式可为我国医学院校的改革及提高医学生的培养质量... 加拿大渥太华大学的医学教育奉行精英培养模式,培养形式多样,课程设置合理、灵活、涵盖范围广,强调了社区医疗服务的同时也涵盖了边远地区的医学教育以及医学继续教育。其医学生培养模式可为我国医学院校的改革及提高医学生的培养质量提供一定的借鉴意义。 展开更多
关键词 加拿大 渥太华大学医学院 医学教育
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一种六边形结构的电容式微机械超声换能器性能分析 被引量:2
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作者 孟亚楠 何常德 +3 位作者 党荣 卢小星 张斌珍 张文栋 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第8期787-794,共8页
为满足超声技术领域对宽频带超声换能器的迫切应用需求,研究了一种新型的六边形结构电容式微机械超声换能器(CMUT)。介绍了CMUT的结构参数与工作原理,采用晶圆键合工艺完成了CMUT的制备,对CMUT的电容-电压特性、电导特性、电纳特性、相... 为满足超声技术领域对宽频带超声换能器的迫切应用需求,研究了一种新型的六边形结构电容式微机械超声换能器(CMUT)。介绍了CMUT的结构参数与工作原理,采用晶圆键合工艺完成了CMUT的制备,对CMUT的电容-电压特性、电导特性、电纳特性、相位特性、阻抗特性与接收灵敏度进行了测试。测试结果表明,该六边形CMUT具备发射与接收超声波的能力,谐振频率随直流偏置电压增大而减小,接收灵敏度可达-225.97 dB(频率1 MHz),且在频率1~10 MHz内一致性较高,变化量为-2.84 dB,显示出其宽频带特性。该研究可为后续二维六边形结构CMUT阵列的优化设计和性能分析提供有力依据。 展开更多
关键词 电容式微机械超声换能器(CMUT) 电容特性 阻抗特性 接收灵敏度 六边形结构
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电容式微机械超声换能器的电流信号检测电路设计
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作者 党荣 何常德 +3 位作者 孟亚楠 卢小星 张国军 张文栋 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第7期96-100,共5页
针对在接收超声波信号时电容式微机械超声换能器(CMUT)输出的微弱电流信号检测需求,设计了一种高频微弱电流信号低噪声放大电路,该电路将CMUT换能器输出电流信号转换并放大为电压信号,并将该放大电路和CMUT换能器集成于同一印刷电路板(P... 针对在接收超声波信号时电容式微机械超声换能器(CMUT)输出的微弱电流信号检测需求,设计了一种高频微弱电流信号低噪声放大电路,该电路将CMUT换能器输出电流信号转换并放大为电压信号,并将该放大电路和CMUT换能器集成于同一印刷电路板(PCB)基板上,减小了检测电路连接线对CMUT换能器输出性能的影响,提高了整体性能。首先对该低噪放大电路结构进行了交流小信号仿真,并进行了实验验证,然后对CMUT换能器的信噪比、线性度与带宽进行了测试。测试结果表明:集成后的CMUT换能器信噪比为50.62 dB,中心频率工作时的线性度为1.612%,6 dB相对带宽为101.98%。 展开更多
关键词 电容式微机械超声换能器 低噪放大电路 频谱响应 集成化 信噪比 宽频带
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加拿大渥太华大学医学院临床医学导论课设置情况及借鉴 被引量:3
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作者 梁霞 朱小东 +9 位作者 李力 韦长元 葛莲英 白先忠 黄娜 卢小星 李秀宁 高超 刘翰楠 唐勇 《中华医学教育探索杂志》 2014年第2期120-124,共5页
通过对加拿大渥太华大学医学院临床医学导论课(introduction to clinical medicine, ICM)设置情况进行分析,发现其临床医学导论课程具有早设置、内容多、长时间、重临床的特点。结合广西医科大学临床医学导论课中存在的问题进行比... 通过对加拿大渥太华大学医学院临床医学导论课(introduction to clinical medicine, ICM)设置情况进行分析,发现其临床医学导论课程具有早设置、内容多、长时间、重临床的特点。结合广西医科大学临床医学导论课中存在的问题进行比较分析,认为借鉴渥太华大学医学院临床医学导论课程的优点,有利于国内医学院校提高对ICM课程重要性的认识,明确ICM课程的教学目标及教学手段,并进一步构建相应教学质量评估体系,做好ICM授课及见习带教工作。 展开更多
关键词 渥太华大学医学院 广西医科大学 临床医学导论课
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发达国家博士研究生教育的现状与特点 被引量:1
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作者 唐勇 梁霞 +5 位作者 邓砚 黄天壬 王云 黄娜 卢小星 葛莲英 《中华医学教育杂志》 2012年第4期638-640,共3页
改革开放后我国博士研究生招生规模逐年扩大,但总体教育水平及质量与发达国家相比仍有一定差距。本文结合文献从招生考试、培养过程、竞争制度、博士论文要求等方面,总结了发达国家博士研究生教育的现状及特点,以期为我国博士研究生... 改革开放后我国博士研究生招生规模逐年扩大,但总体教育水平及质量与发达国家相比仍有一定差距。本文结合文献从招生考试、培养过程、竞争制度、博士论文要求等方面,总结了发达国家博士研究生教育的现状及特点,以期为我国博士研究生教育提供借鉴。 展开更多
关键词 发达国家 博士研究生教育 现状 特点
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