计算机控制CVD金刚石生长系统的研究

在CVD金刚石生长系统的基础上设计开发了计算机控制系统,对金刚石生长过程中各物理信号进行监测与控制,实现了无人值守下金刚石的生长。详细介绍了计算机控制的结构和软件实现方法。最后介绍了在计算机控制之下金刚石厚膜,纳米金刚石薄膜以及复合膜的生长。结果表明该系统运行稳定、可靠,控制效果明显优于人工控制,具有非常广泛的应用价值。