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侧向外延生长GaN的结构特性(英文)
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作者 张荣 顾书林 +5 位作者 修向前 卢殿清 沈波 施毅 郑有炓 KUAN T S 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z1期53-56,共4页
研究了在刻有图形的GaN“衬底”上用HVPE方法侧向外延生长 (ELO)GaN的结构特性。在SiO2 衬底上侧向外延生长GaN已经实现 ,并得到了平面的ELOGaN薄膜。采用扫描电子显微镜、透射电微镜和原子力显微镜技术研究了这种ELOGaN材料的结构和表... 研究了在刻有图形的GaN“衬底”上用HVPE方法侧向外延生长 (ELO)GaN的结构特性。在SiO2 衬底上侧向外延生长GaN已经实现 ,并得到了平面的ELOGaN薄膜。采用扫描电子显微镜、透射电微镜和原子力显微镜技术研究了这种ELOGaN材料的结构和表面形貌。原子力显微镜图像表明 :在ELO范围中的4 μm2 面积上不存在明显的阶状形貌。透射电子显微镜的观测表明在ELO范围内位错密度很低。在接合的界面上没观察到有空隙存在。但观测到晶格的弯曲高达 3 3°,这被归因为由GaN层下的“籽层”和接合界面处的水平倾料和猝灭所产生的螺旋位错的积聚。 展开更多
关键词 GAN 侧向外延生长 氢化汽相外延
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侧向外延生长GaN的结构特性(英文)
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作者 张荣 顾书林 +5 位作者 修向前 卢殿清 沈波 施毅 郑有炓 KUAN T S 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第S1期53-56,共4页
研究了在刻有图形的GaN“衬底”上用HVPE方法侧向外延生长 (ELO)GaN的结构特性。在SiO2 衬底上侧向外延生长GaN已经实现 ,并得到了平面的ELOGaN薄膜。采用扫描电子显微镜、透射电微镜和原子力显微镜技术研究了这种ELOGaN材料的结构和表... 研究了在刻有图形的GaN“衬底”上用HVPE方法侧向外延生长 (ELO)GaN的结构特性。在SiO2 衬底上侧向外延生长GaN已经实现 ,并得到了平面的ELOGaN薄膜。采用扫描电子显微镜、透射电微镜和原子力显微镜技术研究了这种ELOGaN材料的结构和表面形貌。原子力显微镜图像表明 :在ELO范围中的4 μm2 面积上不存在明显的阶状形貌。透射电子显微镜的观测表明在ELO范围内位错密度很低。在接合的界面上没观察到有空隙存在。但观测到晶格的弯曲高达 3 3°,这被归因为由GaN层下的“籽层”和接合界面处的水平倾料和猝灭所产生的螺旋位错的积聚。 展开更多
关键词 GAN 侧向外延生长 氢化汽相外延
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风吹雪雪害地区不易积雪的合理路基高度研究 被引量:7
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作者 郝宇博 张贵平 +2 位作者 卢殿清 胡春元 赵丽 《公路交通科技(应用技术版)》 CAS CSCD 2006年第4期39-41,共3页
文章通过对风吹雪雪害地区不同路基高度的风雪流场的观测与分析,初步掌握了公路路基高度与风雪流场的关系,确定了风吹雪雪害地区不易积雪的合理路基高度,为公路风吹雪雪害防治技术研究提供有力的科学依据。
关键词 路基高度 风雪流场
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