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侧向外延生长GaN的结构特性(英文)
1
作者
张荣
顾书林
+5 位作者
修向前
卢殿清
沈波
施毅
郑有炓
KUAN T S
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第z1期53-56,共4页
研究了在刻有图形的GaN“衬底”上用HVPE方法侧向外延生长 (ELO)GaN的结构特性。在SiO2 衬底上侧向外延生长GaN已经实现 ,并得到了平面的ELOGaN薄膜。采用扫描电子显微镜、透射电微镜和原子力显微镜技术研究了这种ELOGaN材料的结构和表...
研究了在刻有图形的GaN“衬底”上用HVPE方法侧向外延生长 (ELO)GaN的结构特性。在SiO2 衬底上侧向外延生长GaN已经实现 ,并得到了平面的ELOGaN薄膜。采用扫描电子显微镜、透射电微镜和原子力显微镜技术研究了这种ELOGaN材料的结构和表面形貌。原子力显微镜图像表明 :在ELO范围中的4 μm2 面积上不存在明显的阶状形貌。透射电子显微镜的观测表明在ELO范围内位错密度很低。在接合的界面上没观察到有空隙存在。但观测到晶格的弯曲高达 3 3°,这被归因为由GaN层下的“籽层”和接合界面处的水平倾料和猝灭所产生的螺旋位错的积聚。
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关键词
GAN
侧向外延生长
氢化汽相外延
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职称材料
侧向外延生长GaN的结构特性(英文)
2
作者
张荣
顾书林
+5 位作者
修向前
卢殿清
沈波
施毅
郑有炓
KUAN T S
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第S1期53-56,共4页
研究了在刻有图形的GaN“衬底”上用HVPE方法侧向外延生长 (ELO)GaN的结构特性。在SiO2 衬底上侧向外延生长GaN已经实现 ,并得到了平面的ELOGaN薄膜。采用扫描电子显微镜、透射电微镜和原子力显微镜技术研究了这种ELOGaN材料的结构和表...
研究了在刻有图形的GaN“衬底”上用HVPE方法侧向外延生长 (ELO)GaN的结构特性。在SiO2 衬底上侧向外延生长GaN已经实现 ,并得到了平面的ELOGaN薄膜。采用扫描电子显微镜、透射电微镜和原子力显微镜技术研究了这种ELOGaN材料的结构和表面形貌。原子力显微镜图像表明 :在ELO范围中的4 μm2 面积上不存在明显的阶状形貌。透射电子显微镜的观测表明在ELO范围内位错密度很低。在接合的界面上没观察到有空隙存在。但观测到晶格的弯曲高达 3 3°,这被归因为由GaN层下的“籽层”和接合界面处的水平倾料和猝灭所产生的螺旋位错的积聚。
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关键词
GAN
侧向外延生长
氢化汽相外延
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职称材料
风吹雪雪害地区不易积雪的合理路基高度研究
被引量:
7
3
作者
郝宇博
张贵平
+2 位作者
卢殿清
胡春元
赵丽
《公路交通科技(应用技术版)》
CAS
CSCD
2006年第4期39-41,共3页
文章通过对风吹雪雪害地区不同路基高度的风雪流场的观测与分析,初步掌握了公路路基高度与风雪流场的关系,确定了风吹雪雪害地区不易积雪的合理路基高度,为公路风吹雪雪害防治技术研究提供有力的科学依据。
关键词
路基高度
风雪流场
原文传递
题名
侧向外延生长GaN的结构特性(英文)
1
作者
张荣
顾书林
修向前
卢殿清
沈波
施毅
郑有炓
KUAN T S
机构
南京大学物理系
Department of Physics
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第z1期53-56,共4页
基金
国家"8 6 3"基金资助项目 ( 2 0 0 0 0 6 83)
国家自然科学基金资助项目 ( 6 9976 0 14 ,6 96 36 0 10 ,6 980 6 0 0 6 ,6 99870 0 1)~~
文摘
研究了在刻有图形的GaN“衬底”上用HVPE方法侧向外延生长 (ELO)GaN的结构特性。在SiO2 衬底上侧向外延生长GaN已经实现 ,并得到了平面的ELOGaN薄膜。采用扫描电子显微镜、透射电微镜和原子力显微镜技术研究了这种ELOGaN材料的结构和表面形貌。原子力显微镜图像表明 :在ELO范围中的4 μm2 面积上不存在明显的阶状形貌。透射电子显微镜的观测表明在ELO范围内位错密度很低。在接合的界面上没观察到有空隙存在。但观测到晶格的弯曲高达 3 3°,这被归因为由GaN层下的“籽层”和接合界面处的水平倾料和猝灭所产生的螺旋位错的积聚。
关键词
GAN
侧向外延生长
氢化汽相外延
Keywords
GaN
ELO
HVPE
分类号
TN312.8 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
侧向外延生长GaN的结构特性(英文)
2
作者
张荣
顾书林
修向前
卢殿清
沈波
施毅
郑有炓
KUAN T S
机构
南京大学物理系
Department of Physics
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第S1期53-56,共4页
基金
国家“8 6 3”基金资助项目 ( 2 0 0 0 0 6 83)
国家自然科学基金资助项目 ( 6 9976 0 14 ,6 96 36 0 10 ,6 980 6 0 0 6 ,6 99870 0 1)~~
文摘
研究了在刻有图形的GaN“衬底”上用HVPE方法侧向外延生长 (ELO)GaN的结构特性。在SiO2 衬底上侧向外延生长GaN已经实现 ,并得到了平面的ELOGaN薄膜。采用扫描电子显微镜、透射电微镜和原子力显微镜技术研究了这种ELOGaN材料的结构和表面形貌。原子力显微镜图像表明 :在ELO范围中的4 μm2 面积上不存在明显的阶状形貌。透射电子显微镜的观测表明在ELO范围内位错密度很低。在接合的界面上没观察到有空隙存在。但观测到晶格的弯曲高达 3 3°,这被归因为由GaN层下的“籽层”和接合界面处的水平倾料和猝灭所产生的螺旋位错的积聚。
关键词
GAN
侧向外延生长
氢化汽相外延
Keywords
GaN
ELO
HVPE
分类号
O482.31 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
风吹雪雪害地区不易积雪的合理路基高度研究
被引量:
7
3
作者
郝宇博
张贵平
卢殿清
胡春元
赵丽
机构
内蒙古锡林郭勒盟交通科学研究所
内蒙古锡林郭勒盟公路管理处
内蒙古农业大学
出处
《公路交通科技(应用技术版)》
CAS
CSCD
2006年第4期39-41,共3页
文摘
文章通过对风吹雪雪害地区不同路基高度的风雪流场的观测与分析,初步掌握了公路路基高度与风雪流场的关系,确定了风吹雪雪害地区不易积雪的合理路基高度,为公路风吹雪雪害防治技术研究提供有力的科学依据。
关键词
路基高度
风雪流场
分类号
U418.56 [交通运输工程—道路与铁道工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
侧向外延生长GaN的结构特性(英文)
张荣
顾书林
修向前
卢殿清
沈波
施毅
郑有炓
KUAN T S
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
0
下载PDF
职称材料
2
侧向外延生长GaN的结构特性(英文)
张荣
顾书林
修向前
卢殿清
沈波
施毅
郑有炓
KUAN T S
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
0
下载PDF
职称材料
3
风吹雪雪害地区不易积雪的合理路基高度研究
郝宇博
张贵平
卢殿清
胡春元
赵丽
《公路交通科技(应用技术版)》
CAS
CSCD
2006
7
原文传递
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