Fe表面多种离子注入层的研究

本文应用Auger电子能谱及透射电镜研究了纯Fe表面分别注入Ni^+,Mo^+,B^+等单种离子及组合注入3种离子所引起的表面层化学成分分布及微观结构的变化。离子能量50—150keV,剂量5×10^(15)-4×10^(17)Ions/cm^2,室温注入。Auger谱表明,注入Ni^+,Mo^+使表面形成浓度达20—30at.-％的碳化层。组合注入形成较厚的表面非晶层,hcp结构的碳化物及fcc结构的奥氏体相。并对级联效应及辐照增强扩散对碳的渗入及形成非晶层的作用进行了讨论。