电子束纳米加工技术研究现状

纳米科学技术是８０年代后期发展起来面向２１世纪的高新技术，纳米加工技术是制造量子微结构的主导技术。电子束纳米加工推动着微细加工技术的研究向着分子、原子量级的纳米层次发展。本文重点介绍电子束纳米曝光技术的研究现状及发展前景。

集成光栅器件与微细加工技术

集成光栅器件是光集成电路(OIC)和光电子集成电路(OEIC)中的重要功能器件,真有波导材料中光波长量级的微细周期结构,其制作技术要求极为苛刻,本文侧重介绍在集成光栅器件制备中的全息光刻、电子束和离子束等微细加工技术。

EeBES—40型电子束曝光机的图形生成系统

介绍了美国瓦里安公司１９７９年研制的一种生产型电子束曝光机的光栅扫描方式，以及光栅扫描作图的图形生成系统和该系统的主要组成部件。

双频激光测量系统及其在IC加工设备中的应用

本文介绍美国HP公司生产的双频激光测量系统以及在IC加工设备中的应用,并对采用该测量系统时应注意的问题进行讨论。

高精度激光干涉仪定位系统

ＨＰ公司推出的新产品５５２７Ａ型双频激光干涉仪精密测量系统，采用数字控制ＨＰ－１０９３６Ａ伺服轴板为核心组成的闭环位置控制线路，取得了亚微米级的定位精度和重复精度。重点介绍ＨＰ－１０９３６Ａ伺服轴板的功能，推导出具有前馈补偿ＰＩＤ控制器的传递函数表达式，分析ＰＩＤ根轨迹图上零点的位置对伺服系统稳定性的影响，介绍控制器的调试方法，以及采用ＨＰ－３５６２Ａ动态信号分析仪，可实现伺服轴板的快速调试，给出闭环位置控制系统的控制程序。

激光定位工件台长度测量的有理化电路

在激光干涉测量的数据处理中,常用迭代法对测量数据进行有理化(指小数有理化),本文讨论迭代参数的设计,并介绍一种用于电子束曝光机双频激光定位工件台中长度测量的有理化电路。

双向开发：加速山区经济发展的战略探讨

双向开发：加速山区经济发展的战略探讨卢维美我国是一个多山的国家，山区面积占国土总面积的６９％，人口占全国的５６％。改革开放以来，山区经济虽有较快发展，但相对全国滞后，部分人的温饱问题还未解决。全国５９２个贫困县中，山区县就有４９６个，占８４％，其农民...

Ee—BES—40A电子束曝光机的无油超高真空系统的故障诊断技术

本Ｂｅ－ＢＥＳ－４０Ａ电子束曝光机是电工所引进美国Ｖａｒｉａｎ公司的二手设备。本文主要介绍该机的无油超高真空系统的故障诊断技术，及其排除方法。其中，应用了“压强上升率法”，以及氦质谱检漏仪的新型检漏技术──“逆扩散”技术，最终达到了所要求的超高真空。同时，找到了一套适用于无油真空系统的故障诊断方法。

家庭经营核算示范户的作用

走进铜鼓县一些农民家里,你可以看到他们的墙上挂着算盘,桌上摆着帐本。这就是铜鼓县近年涌现出来的新生事物——家庭经营核算示范户。据县农业部门介绍,在县乡村三级会计的帮助下,这种示范户已发展到916户。核算专业户的出现,对于提高农民家庭经营效益。

优化企业管理的经济辨证法

优化企业管理的经济辨证法卢维美管理组织对于任何一个企业的经营管理活动来说都是不可缺少的。它是围绕一定的目标，设计并建立组织结构。安排好各个单位和成员的职责、职务、职权及其相互之间的协作关系，从而使企业具有高的管理效益和经济效益。那么，企业内部的管理组...

优化企业管理的经济辩证法

管理组织对于任何一个企业的经营管理活动来说都是不可缺少的。它是围绕一定的目标,设计并建立组织结构。安排好各个单位和成员的职责、职务、职权及其相互之间的协作关系,从而使企业具有高的管理效益和经济效益。那么,企业内部的管理组织结构如何进行设置与调整,以达到高效精干的优化目标呢?笔者认为,优化企业的管理组织必须体现出系统辩证的思路。

浅谈经济发展与地方财政增收的统一点

实施分税制后,如何把握机遇,在确保中央收入稳定增长前提下,加快地方财源建设步伐,壮大地方财政收入,这是值得各级地方政府研究的重要课题。笔者认为,要从优化结构入手,找准经济发展与地方财政增收的统一点。一、优化财源结构,确立地方主体税种。分税制最大特点,就是划分出中央税、中央与地方共享税、地方税三大块。地方政府要以此为依据,因地制宜,确立好地方主体税种。1、摸清家底:一是税种家底,对国家已出台税种进行分类排队,哪些税种适应本地,哪些税种不适应本地,使经济发展与税种统一起来。二是财源家底,了解本地各行各业的经济现状。

加快山区农林特产业发展的建议

我省山地面积占全省总面积的63.2%,自然资源特别是林业资源颇为丰富,发展农林特产业有着很大的潜力。山区面积占84.5%,人口仅13万的铜鼓县,立足山区优势,大力发展农林特产业,促进了地方财政增长和农民增收,去年全县财政收入达3321万元,比上年增长25.2%,其中农业特产税达778万元,占财政总收入的23.4%,如果加上多层次农林特产加工间接税收,则占财政总收入的67%;

山区实施双向开发战略初探

山区实施双向开发战略初探卢维美我国是一个多山的国家，山区面积占国土总面积的６９％，人口占全国人口的５６％。改革开放以来，山区经济虽有较快发展，但相对全国滞后，部分人的温饱问题还未解决。全国５９２个贫困县中，山区县就有４９６个，占８４％，其农民人均纯收...