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一种测量表面粗糙度的激光外差干涉仪
1
作者
古丽蓉
王佳
+1 位作者
章恩耀
曹芒
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1990年第2期135-139,共5页
本文讨论激光外差干涉技术测量表面粗糙度仪器的工作原理。作者利用两个声光调制器产生差频光,解调拍频信号并进行鉴相处理,精确测量表面粗糙度。文中还讨论了设计研制的表面粗糙度外差干涉仪的具体技术问题,对不同样品及加工表面进行实...
本文讨论激光外差干涉技术测量表面粗糙度仪器的工作原理。作者利用两个声光调制器产生差频光,解调拍频信号并进行鉴相处理,精确测量表面粗糙度。文中还讨论了设计研制的表面粗糙度外差干涉仪的具体技术问题,对不同样品及加工表面进行实测,并与传统触针测试方法、干涉显微镜所得到的结果进行了比对,理论分析与实验结果一致:仪器灵敏度为10(?),测量精度10nm。
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关键词
表面粗糙度
激光干涉仪
测量
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职称材料
题名
一种测量表面粗糙度的激光外差干涉仪
1
作者
古丽蓉
王佳
章恩耀
曹芒
机构
清华大学精密仪器系
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1990年第2期135-139,共5页
基金
国家自然科学基金
文摘
本文讨论激光外差干涉技术测量表面粗糙度仪器的工作原理。作者利用两个声光调制器产生差频光,解调拍频信号并进行鉴相处理,精确测量表面粗糙度。文中还讨论了设计研制的表面粗糙度外差干涉仪的具体技术问题,对不同样品及加工表面进行实测,并与传统触针测试方法、干涉显微镜所得到的结果进行了比对,理论分析与实验结果一致:仪器灵敏度为10(?),测量精度10nm。
关键词
表面粗糙度
激光干涉仪
测量
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种测量表面粗糙度的激光外差干涉仪
古丽蓉
王佳
章恩耀
曹芒
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1990
0
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