一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术

研究了一种新颖的基于MEMS工艺中离子束刻蚀的纳米沟道制备技术,通过研究离子束刻蚀微米级线条时,离子束刻蚀角度与刻蚀的轮廓形状之间的关系,在2μm线条内刻蚀出纳米沟道所需要的掩模图形,并结合KOH的各向异性腐蚀,成功获得了纳米沟道阵列。在两种不同的离子束刻蚀条件下,在2μm图形内分别制备出单纳米沟道和双纳米沟道,最小宽度可达440nm.

完善内部经营机制 增强企业后劲

南阳变压器厂是河南省电力变压器和农用拖车定点厂,现有干部,职工278人,固定资产305万元.1984年以来,我厂认真贯彻党的改革、开放,搞活方针,不断完善企业的内部机制,四年赚回两个厂,年年被评为地县先进企业.1987年实行承包经营后我们充分利用外部条件,不断深化企业配套改革,经济效益大幅度增长,1987年完成产值1066万元,实现税利127万元,人均税利4496万元.其主要经济指标居全省10家同行业之首,被省政府命名为省二级先进企业,我们的主要作法是:

内陆特区漯河市发展之路探讨

内陆特区漯河市是我国近几年发展速度最快的城市之一，其发展路子独具特色。本文结合设地级市以来的发展历程，对其快速发展之路进行了深入探索。