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场发射冷阴极的技术现状及其应用研究进展
被引量:
2
1
作者
徐季
张建
+5 位作者
李孟杰
史永佼
施予同
吴量
李新宇
张晓兵
《真空电子技术》
2020年第3期1-14,共14页
基于场发射冷阴极的真空电子器件被广泛应用于通讯、医疗、安全监测等领域,本文主要回顾了近年来场发射冷阴极及其真空电子器件的最新研究进展,介绍了现行冷阴极中使用的低维纳米材料和新型复合式结构,详细探讨了场发射冷阴极在微波管...
基于场发射冷阴极的真空电子器件被广泛应用于通讯、医疗、安全监测等领域,本文主要回顾了近年来场发射冷阴极及其真空电子器件的最新研究进展,介绍了现行冷阴极中使用的低维纳米材料和新型复合式结构,详细探讨了场发射冷阴极在微波管、电子显微技术、X射线管及真空纳米间隙晶体管中的应用现状。最后,着重阐述了真空电子微系统的科学概念,并对未来的应用前景进行了展望。
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关键词
场发射冷阴极
真空微纳电子器件
低维纳米材料
微纳加工工艺
真空微系统
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职称材料
题名
场发射冷阴极的技术现状及其应用研究进展
被引量:
2
1
作者
徐季
张建
李孟杰
史永佼
施予同
吴量
李新宇
张晓兵
机构
东南大学电子科学与工程学院信息显示与可视化国际合作联合实验室
出处
《真空电子技术》
2020年第3期1-14,共14页
基金
国家自然科学基金面上项目(批准号:61971133)
国家自然科学基金青年科学基金(批准号:61571124)
+1 种基金
“政府间国际科技创新合作/港澳台科技创新合作”重点专项(批准号:2018YFE0125500)
中国博士后基金面上项目(批准号:2019M651646)。
文摘
基于场发射冷阴极的真空电子器件被广泛应用于通讯、医疗、安全监测等领域,本文主要回顾了近年来场发射冷阴极及其真空电子器件的最新研究进展,介绍了现行冷阴极中使用的低维纳米材料和新型复合式结构,详细探讨了场发射冷阴极在微波管、电子显微技术、X射线管及真空纳米间隙晶体管中的应用现状。最后,着重阐述了真空电子微系统的科学概念,并对未来的应用前景进行了展望。
关键词
场发射冷阴极
真空微纳电子器件
低维纳米材料
微纳加工工艺
真空微系统
Keywords
Field emission cold cathode
Vacuum micro-nano electronic devices
Low dimensional nanomaterials
Micro-nano fabrication
Vacuum microsystem
分类号
O462.4 [理学—电子物理学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
场发射冷阴极的技术现状及其应用研究进展
徐季
张建
李孟杰
史永佼
施予同
吴量
李新宇
张晓兵
《真空电子技术》
2020
2
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