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实用化微机全自动控制XG60-1型MOCVD装置的研制
1
作者
高鸿楷
张济康
+5 位作者
叶亚仙
李秀如
云峰
刘瑛
张增颜
侯洵
《高速摄影与光子学》
CSCD
1990年第4期360-365,共6页
本文介绍的是自行设计与制造的高度自动化MOCVD装置。该装置设有9路流量控制管路,6路源,1路HCl气源及氯气旁路,装置气密性好,8 kg/cm^2正压时,用Snoop溶液检测无泄露。配有真空机组,反应室可抽至10^(-5)乇。反应室为高频加热,控温精度...
本文介绍的是自行设计与制造的高度自动化MOCVD装置。该装置设有9路流量控制管路,6路源,1路HCl气源及氯气旁路,装置气密性好,8 kg/cm^2正压时,用Snoop溶液检测无泄露。配有真空机组,反应室可抽至10^(-5)乇。反应室为高频加热,控温精度±0.2℃,有机源冷井控温精度±0.1℃,设有压力,H_2、AsH_3、PH_3报警及自动处置系统,有断水,断电保护,全部控制量均为数字显示,温度及全部流量的设置与调整均实现微机自动控制,配有GaAs,AlGaAs单层及多层结构生长工艺的专用软件,实现完全自动化生长。该装置性能稳定,重复性好,安全可靠,对操作者及环境无危害,设有手动及自动转换开关,适合于科研和生产使用。
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关键词
微机
MOCVD装置
半导体设备
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职称材料
BD—1高精度Bragg衍射仪微机控制系统研制
2
作者
叶亚仙
《高速摄影与光子学》
CSCD
1989年第1期81-85,共5页
本文阐述了我国首次研制的BD—1高精度Bragg衍射仪中的微机控制系统。本系统采用Apple—Ⅱ微机、新型驱动细分控制器对步进电机实现步距角二细分控制,使衍射仪内单轴转台的θ角实现小步距转角(5.4″)高精度、高稳定的控制;该微机系统还...
本文阐述了我国首次研制的BD—1高精度Bragg衍射仪中的微机控制系统。本系统采用Apple—Ⅱ微机、新型驱动细分控制器对步进电机实现步距角二细分控制,使衍射仪内单轴转台的θ角实现小步距转角(5.4″)高精度、高稳定的控制;该微机系统还实现了对工作台随动升降控制;晶体转角微调控制;高分辨数据采集及处理;限位报警等功能,且具有较强的抗干扰能力。
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关键词
Bragg衍射仪
微机
控制系统
BD-1型
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职称材料
西溪文化遗产保护与利用探析
3
作者
叶亚仙
《杭州学刊》
2017年第2期189-201,共13页
西溪文化遗产众多,是西溪历史人文的载体,反映出西溪深厚的历史文化底蕴。十多年来,西溪湿地综合保护工程的决策和实施,为挖掘、保护和利用西溪文化遗产进行了成功的实践。然而新型城镇化的推进,给这项工作带来新的困难与挑战,并提出了...
西溪文化遗产众多,是西溪历史人文的载体,反映出西溪深厚的历史文化底蕴。十多年来,西溪湿地综合保护工程的决策和实施,为挖掘、保护和利用西溪文化遗产进行了成功的实践。然而新型城镇化的推进,给这项工作带来新的困难与挑战,并提出了更高的标准与要求。本文探讨在新型城镇化背景下西溪文化遗产保护与利用所面临的困难与问题,并提出相应的对策建议,以期形成保护与利用的良性循环。
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关键词
西溪
文化遗产
保护
利用
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职称材料
带一本红楼游西溪——“杭州与红楼梦”研讨会综述
4
作者
蔡琰
叶亚仙
《红楼梦学刊》
CSSCI
北大核心
2011年第5期312-339,共28页
2011年7月2日至3日,由中共西湖区委、西湖区人民政府、西溪湿地管委会主办,杭州西溪研究院、中国湿地博物馆、杭州西溪红学研究中心承办,西溪湿地管委会办公室、杭州红楼梦文化研究会、
关键词
西溪湿地
红楼梦
研讨会综述
杭州
人民政府
红学研究
文化研究
西湖区
原文传递
题名
实用化微机全自动控制XG60-1型MOCVD装置的研制
1
作者
高鸿楷
张济康
叶亚仙
李秀如
云峰
刘瑛
张增颜
侯洵
机构
中国科学院西安光机所
出处
《高速摄影与光子学》
CSCD
1990年第4期360-365,共6页
文摘
本文介绍的是自行设计与制造的高度自动化MOCVD装置。该装置设有9路流量控制管路,6路源,1路HCl气源及氯气旁路,装置气密性好,8 kg/cm^2正压时,用Snoop溶液检测无泄露。配有真空机组,反应室可抽至10^(-5)乇。反应室为高频加热,控温精度±0.2℃,有机源冷井控温精度±0.1℃,设有压力,H_2、AsH_3、PH_3报警及自动处置系统,有断水,断电保护,全部控制量均为数字显示,温度及全部流量的设置与调整均实现微机自动控制,配有GaAs,AlGaAs单层及多层结构生长工艺的专用软件,实现完全自动化生长。该装置性能稳定,重复性好,安全可靠,对操作者及环境无危害,设有手动及自动转换开关,适合于科研和生产使用。
关键词
微机
MOCVD装置
半导体设备
Keywords
Semiconductor material apparatus
MOCVD.
分类号
TN304.054 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
BD—1高精度Bragg衍射仪微机控制系统研制
2
作者
叶亚仙
机构
中科院西安光机所
出处
《高速摄影与光子学》
CSCD
1989年第1期81-85,共5页
文摘
本文阐述了我国首次研制的BD—1高精度Bragg衍射仪中的微机控制系统。本系统采用Apple—Ⅱ微机、新型驱动细分控制器对步进电机实现步距角二细分控制,使衍射仪内单轴转台的θ角实现小步距转角(5.4″)高精度、高稳定的控制;该微机系统还实现了对工作台随动升降控制;晶体转角微调控制;高分辨数据采集及处理;限位报警等功能,且具有较强的抗干扰能力。
关键词
Bragg衍射仪
微机
控制系统
BD-1型
Keywords
Bragg diffractom eters, micro-computer controlling systems
分类号
TH741.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
西溪文化遗产保护与利用探析
3
作者
叶亚仙
机构
杭州西溪研究院
出处
《杭州学刊》
2017年第2期189-201,共13页
基金
浙江省城市治理研究中心基地自设课题(2015ZL07)研究成果
文摘
西溪文化遗产众多,是西溪历史人文的载体,反映出西溪深厚的历史文化底蕴。十多年来,西溪湿地综合保护工程的决策和实施,为挖掘、保护和利用西溪文化遗产进行了成功的实践。然而新型城镇化的推进,给这项工作带来新的困难与挑战,并提出了更高的标准与要求。本文探讨在新型城镇化背景下西溪文化遗产保护与利用所面临的困难与问题,并提出相应的对策建议,以期形成保护与利用的良性循环。
关键词
西溪
文化遗产
保护
利用
分类号
F205 [经济管理—国民经济]
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职称材料
题名
带一本红楼游西溪——“杭州与红楼梦”研讨会综述
4
作者
蔡琰
叶亚仙
出处
《红楼梦学刊》
CSSCI
北大核心
2011年第5期312-339,共28页
文摘
2011年7月2日至3日,由中共西湖区委、西湖区人民政府、西溪湿地管委会主办,杭州西溪研究院、中国湿地博物馆、杭州西溪红学研究中心承办,西溪湿地管委会办公室、杭州红楼梦文化研究会、
关键词
西溪湿地
红楼梦
研讨会综述
杭州
人民政府
红学研究
文化研究
西湖区
分类号
I207.411 [文学—中国文学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
实用化微机全自动控制XG60-1型MOCVD装置的研制
高鸿楷
张济康
叶亚仙
李秀如
云峰
刘瑛
张增颜
侯洵
《高速摄影与光子学》
CSCD
1990
0
下载PDF
职称材料
2
BD—1高精度Bragg衍射仪微机控制系统研制
叶亚仙
《高速摄影与光子学》
CSCD
1989
0
下载PDF
职称材料
3
西溪文化遗产保护与利用探析
叶亚仙
《杭州学刊》
2017
0
下载PDF
职称材料
4
带一本红楼游西溪——“杭州与红楼梦”研讨会综述
蔡琰
叶亚仙
《红楼梦学刊》
CSSCI
北大核心
2011
0
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