MPCVD法制备的不同温度的金刚石涂层的微结构及力学性能研究

采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),以硬质合金(YG6)为基底,通过固定碳源浓度10%,腔体压强4 kPa,并控制腔内温度分别为700℃、750℃和800℃制备了不同基底温度的硬质合金基金刚石涂层样品。使用XRD、SEM、EDS、Nano Test等方法研究了样品的物相结构、成分、微观形貌和纳米硬度。结果表明:涂层颗粒尺寸约为100~200 nm,表面平滑,且随着温度升高,样品晶粒尺寸略有增大,结晶更加完善,表面纳米硬度呈升高趋势,约为50 GPa。