基于正交超声驻波场的粒子运动建模和控制(英文)

为了获得具有均匀的倒金字塔表面微结构的多晶硅,提出了一种新腐蚀加工方法。通过建立一个相互正交的超声驻波场,来协助硅的化学侵蚀并改善其对光的吸收能力。首先对硅片表面结构进行一些比较,在二维上建立网格状的数学模型。然后建立网格中粒子运动的控制理论模型,并进行仿真验证。最后设计实验用于检验超声驻波对粒子的运动控制效果。多晶硅侵蚀结果说明将超声驻波应用在网格化微加工上是可行、可靠的。

构件内微粒声悬浮操控方法研究

为了实现构件内部微小结构的直接加工,提出了利用超声悬浮技术建立内部微粒运动的声悬浮操控加工方法。建立了超声悬浮操控微粒运动模型,设计了试验系统并进行了构件内通道悬浮微粒的运动操控试验,建立了悬浮力与微粒直径、内部通道尺寸、透射厚度的关系。结果表明,提出的方法可以在三维空间内实现悬浮微粒较高速度的跟随移动和较高的运动精度控制,微粒能在构件内部可靠悬浮且连续运动形成运动轨迹。研究结果为直接加工内部结构提供了可行的运动操控方案。