导电玻璃光刻

本文介绍了目前使用国产设备和材料制作透明电极发光图案的最佳方法和工艺。特别是通过液体抗蚀剂和干膜抗蚀剂在光刻中的特性比较，得出了使用干膜抗蚀剂的可行性，为各种尺寸的透明电极上图案形成提供了可靠的方法。