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题名降低高分子电容式湿敏元件湿滞的实验研究
被引量:6
- 1
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作者
郑丽
金建东
司良有
王成杨
张鹏
王亚彬
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机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2015年第6期27-29,共3页
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文摘
针对高分子电容式湿敏元件的湿滞无法通过后续电路完全实现补偿的问题,提出了从高分子电容式湿敏元件本身降低湿滞的方法。主要从制作工艺、湿敏材料的选择两方面进行了实验验证,并对制作完成的高分子电容式湿敏元件进行性能测试与数据分析。实验结果表明:通过控制制作工艺和对湿敏材料进行改性可以降低湿滞,湿滞优于1.5%RH。采用该方法制作的湿敏元件无需再次通过后续电路进行湿滞补偿。
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关键词
湿滞
湿敏元件
湿敏材料
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Keywords
humidity hysteresis
humidity sensitive element
humidity sensitive material
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分类号
TP212.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名集成加热功能双模块湿敏电容衬底材料研究
被引量:3
- 2
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作者
金建东
郑丽
司良有
王明伟
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机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所芯片与微系统工程中心
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出处
《信息技术》
2010年第4期33-35,共3页
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基金
国家863计划资助项目(2006AA04Z319)
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文摘
为实现在高空高湿环境下对湿度的准确测量,研制出一种集成加热功能的湿敏电容,理论分析、计算仿真及试验验证三方面针对这种加热功能湿敏电容的衬底材料进行研究。
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关键词
衬底材料
湿敏电容
加热功能
双模块
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Keywords
substrate material
humidity capacitance
heating function
double modules
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分类号
TP274.4
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名湿敏元件在恶劣环境下的失效机理分析
被引量:1
- 3
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作者
张广学
司良有
金建东
刘其中
郑丽
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机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
中国人民解放军第二炮兵驻哈尔滨军代表室
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出处
《信息技术》
2010年第5期17-19,共3页
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基金
国家863计划资助项目(2006AA042319)
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文摘
介绍了电容式高分子湿敏元件的基本结构及制造工艺。分析了湿敏元件在恶劣环境下的失效机理及产生的原因,指出了感湿膜中的颗粒状缺陷是造成湿敏元件在恶劣环境下失效的主要原因。提出了在湿敏元件制作、上电极工艺制造技术和湿敏元件筛选检验的改进措施。
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关键词
湿敏元件
失效机理
缺陷
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Keywords
humidity sensors
failure mechanism
defects
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名电容式聚酰亚胺湿敏元件保护膜研究
被引量:1
- 4
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作者
王成杨
王亚彬
金建东
郑丽
司良有
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机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
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出处
《信息技术》
2016年第4期69-72,共4页
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基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2014AA06A505)
中国电子科技集团公司第四十九研究所青年科技创新基金资助项目(QC2014005)
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文摘
采用49-1,PI-5,DOW184以及CAB551四种有机物作为湿敏元件的保护层材料,制作带有保护层的电容式湿敏元件,并对其湿度响应特性与耐污染能力进行研究。实验结果表明,49-1具有更好的综合性能,其湿滞变化为0.18%RH,涂覆后响应时间为11s,污染后初始容值变化为0.190p F,相比于无保护膜的湿度敏感元件变化值减小约20倍,具有良好耐污染特性。该层薄膜不仅起到了保护湿敏元件的作用,且可以降低湿敏元件在有机污染物中的漂移,提高电容式湿敏元件的稳定性。
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关键词
湿度
传感器
电容式
保护层
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Keywords
humidity
sensor
capacitive-type
protecting layer
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名一种新三电极体系电化学气体传感器
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作者
王钧
司良有
祁欣
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机构
电子工业部第
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出处
《郑州轻工业学院学报(自然科学版)》
CAS
1994年第S1期55-57,共3页
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文摘
论述了原有三电极体系电化学气体传感器无法进行高浓度在线检测的原因,给出了一种新三电极体系.这种新三电极体系可以使传感器的检测上限显著提高。
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关键词
电化学
传感器
三电极体系
检测
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Keywords
electrochemistry
gas sensor
three-electrodes system
detecting
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分类号
O642.59
[理学—物理化学]
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