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大直径CZ硅单晶生长时的缩颈要求
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作者 张维连 向孝智 《河北工学院学报》 1991年第2期42-45,共4页
本文讨论了为保证大直径CZ硅单晶无位错生长缩颈时细颈的最小直径以及可能提拉晶体的最大重量,同时给出了简单预测籽晶细颈的公式。
关键词 单晶硅 生长 籽晶细颈 缩颈
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