期刊文献+

刊内检索

题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息

期刊收录

共找到2篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
外延工艺在集成电路制造产业中的应用 被引量:2
1
作者 向玉双 《集成电路应用》 2006年第7期49-50,共2页
外延(Epitaxy,简称Epi)工艺是指在单晶衬底上生长一层跟衬底具有相同晶格排列的单晶材料,外延层可以是同质外延层(Si/Si),也可以是异质外延层(SiGe/Si或SiC/Si等);同样实现外延生长也有很多方法,包括分子束外延(MBE),... 外延(Epitaxy,简称Epi)工艺是指在单晶衬底上生长一层跟衬底具有相同晶格排列的单晶材料,外延层可以是同质外延层(Si/Si),也可以是异质外延层(SiGe/Si或SiC/Si等);同样实现外延生长也有很多方法,包括分子束外延(MBE),超高真空化学气相沉积(UHV/CVD),常压及减压外延(ATM&RP Epi)等等。 展开更多
关键词 外延工艺 制造产业 集成电路 超高真空化学气相沉积 SIGE/SI 应用 单晶材料 外延生长 分子束外延 外延层
下载PDF
合金FeTi_(1.2)+xwt%LaNi_5(x=0,1,2,3,4)储氢性能的研究
2
作者 向玉双 杜立新 +3 位作者 叶辉 黄铁生 徐乃欣 邬君飞 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2002年第2期175-178,共4页
采用合金化的方法向富钛储氢合金FeTi1.2中添加少量LaNi5以形成四元系合金FeTi1.2+xwt%LaNi5来改善FeTi1.2合金的储氢性能。虽然XRD没有检出合金中有LaNi5相的存在,但是FeTi1.2合金的储氢性能特别是活化性能得到了改善,FeTi1.2+xwt%LaNi... 采用合金化的方法向富钛储氢合金FeTi1.2中添加少量LaNi5以形成四元系合金FeTi1.2+xwt%LaNi5来改善FeTi1.2合金的储氢性能。虽然XRD没有检出合金中有LaNi5相的存在,但是FeTi1.2合金的储氢性能特别是活化性能得到了改善,FeTi1.2+xwt%LaNi5合金还具有较高的储氢量,293K吸氢的FeTi1.2+2wt%LaNi5合金在333K时的放氢量为186.4ml/g,明显超过FeTi1.2合金的172.3ml/g。 展开更多
关键词 FeTi1.2合金 储氢性能 活化 贮氢合金
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部