氮化铝Lamb波谐振器的能量损耗分析研究

本文介绍了工作频率为400 MHz和2 GHz氮化铝Lamb波谐振器的结构设计、微纳制造及测试表征,研究了锚点损耗和声子间相互作用损耗对Lamb波谐振器品质因数(Q值)的影响,并分析了不同工作频率的Lamb波谐振器的主要能量损耗来源.研究发现:对于低频谐振器,锚点损耗为其主要能量损耗来源,因此减小支撑轴宽度可减少通过支撑轴泄漏至衬底的能量,进而提高Q值;对于高频谐振器,声子间相互作用损耗为其主要能量损耗来源,因此相比于金(Au),采用铝(Al)作为叉指电极(IDT)材料的谐振器具有更高Q值.针对Lamb波谐振器的结构特点,设计了一套基于七步光刻工艺的微纳制程,成功制备了具有微型化释放腔体的Lamb波谐振器,并具备优异的性能.测试结果表明,工作频率为400 MHz和2 GHz的Al-IDT谐振器的串联品质因数(Qs)分别达到2 590和1 192.

基于掺钪氮化铝FBAR的滤波器设计研究

设计了一款工作在2.11~2.18 GHz频段的薄膜体声波滤波器。基于有限元仿真研究了掺钪氮化铝(AlScN)的薄膜体声波谐振器,并分析了掺钪对谐振器性能的影响。提出了边缘凸起结构的优化设计方案,改善了谐振器的有效机电耦合系数和品质因数。利用Modified Butterworth-van Dyke(MBVD)等效电学模型对FBAR滤波器进行仿真研究,并将所设计的7层内置螺旋电感与滤波器电路进行协同仿真,优化后的FBAR滤波器在2.11~2.18 GHz频段的插入损耗<2 dB,带外抑制>40 dB。

钙渗透对甜樱桃果实采后生理的影响

减压渗Ｃａ￣（２＋）能够明显增加甜樱桃果实中Ｃａ￣（２＋）含量。果实中Ｃａ￣（２＋）含量与贮藏后期维生素Ｃ含量成显著正相关，而与可溶性固形物含量无关。Ｃａ￣（２＋）能够抑制果实中ＰＯＤ（过氧化物酶）、ＰＰＯ（多酚氧化酶）活性，并且随浓度增加抑制作用增强，Ｃａ￣（２＋）含量与ＰＰＯ活性成显著负相关。Ｃａ￣（２＋）处理果实腐烂率比对照降低３８．８％－１００％，褐变率降低１３．３８％－４５．２３％。

环形氮化铝压电MEMS谐振器的支撑结构设计研究

基于有限元仿真研究了方环和圆环形谐振器的静态位移点,并分析了支撑轴位置对谐振器性能的影响,提出了优化设计方案:对于方环形谐振器,在对角处设置双端侧向支撑以降低其锚点损耗;对于圆环形谐振器,采用单端侧向支撑以及三端底部支撑相结合的器件结构,在保证电学信号引出的同时,提升器件的品质因数Q。针对所设计的器件结构特征,设计了一种基于七步光刻工艺的微纳制程,并成功实现器件的高成品率制备。测试结果表明:前者的Q值和机电耦合系数k_(eff)^(2)分别为1707.4和0.98%,后者的Q值和k_(eff)^(2)分别为1844.7和1.58%。相比于四端支撑环形谐振器,优化设计的支撑结构使得器件Q值得到大幅提升。此外,还分析研究了不同表面电极材料对环形谐振器的性能影响。

一种改进的细粒度云存储安全去重方案

数据数量的不断增长使得越来越多的数据存储在云环境下,数据去重技术在云环境下的应用也越来越广泛,通过存储唯一文件副本减少存储空间,降低网络通信开销。为了实现安全的数据去重,MLE方案及其很多基于MLE方案的改进方案被提出,然而,原始MLE方案中的固定长度分块技术随着数据量的不断增大不在适用,而且很多方案并没有将数据的所有权证明以及所有权变更问题进行研究,随着用户对个人隐私的注重,这种没有所有权管理的方案显然是不行的。提出一种基于内容的可变长度分块技术,安全高效的所有权管理数据去重方案,通过引进双数组Tire树,对数据的所有权问题进行管理的同时,实现数据的安全去重。分析和实验结果表明,该方案可以更细粒度地对重复数据进行去重,对数据的所有权进行管理。

氮化铝Lamb波谐振器的支撑轴区域声反射结构研究

本文综合运用有限元仿真和实验相结合的方法,研究分析了氮化铝兰姆(Lamb)波谐振器的支撑轴区域声反射结构对串联谐振品质因数(Q)的影响。对于频率约1.56 GHz的Lamb波谐振器,窄支撑和全支撑锚点结构的Q值基本相当;设置圆弧形和斜边形的声反射结构可减小支撑轴区域的位移幅值,进而降低锚点损耗;设置弧形沟槽有助于将声能限制在谐振腔区域,进而提升Q值;在衬底与支撑轴相邻区域沉积金属铝,可增加衬底与支撑轴的声阻抗失配程度,有利于声波反射回谐振腔。此外,基于6 in(1 in=2.54 cm)氮化铝工艺平台,成功制备了本文所设计的器件,且测试结果与模拟结果基本吻合,采用上述几种声反射结构均可提升Q值,其中斜边形反射结构对Q值的提升最为显著,Q值从2232.1提高到3256.5。

对矿山道路及运输车辆交通安全管理的实践与思考

近年来,随着国家经济的快速发展,矿山开发呈迅猛发展之势,其范围广、运输量大,吸引众多社会车辆参与矿产品运输之中。这些运输车辆的吨位大、且车良莠不齐,有时为获得最大经济效益,不惜严重违法,超载、超速、抢道行驶,加之矿山道路差、个别驾驶人法律意识差,给矿山道路交通管理带来了严重的安全隐患。笔者以结合本地实际,浅谈矿山运输车辆交通安全存在的问题及对策。

浅谈城市园林绿化及其施工管理技术

目前我国城市绿地面积越来越少,严重影响了城市的环境质量,因此,城市园林绿化受到重点关注。随着城市现代化建设的发展,对城市建设中的园林绿化的要求也越来越高,园林绿化施工的技术对绿化工程的质量起着关键的作用。本文分析了我国园林绿化施工技术管理的重要意义,并对施工技术要点进行了探讨。

双对比消化道造影结合CT对胃间质瘤的诊断价值

目的探讨胃间质瘤的消化道造影和CT的表现,以提高诊断正确率。方法回顾性分析14例经病理学及免疫组化证实的胃间质细胞瘤患者的临床资料和消化道造影CT表现。14例均行双对比消化道造影和CT平扫＋增强扫描。结果肿瘤均为单发,腔内型4例,腔外型6例,哑铃型4例,圆形或类圆形10例,分叶形4例,良性偏小平均直径约3.2cm,恶性偏大,平均直径约7.5cm。CT平扫示肿瘤呈均匀等密度4例,肿块周边呈等密度,中间呈略低密度或低密度8例,呈高、低、等混杂密度2例。增强扫描示4例呈中度明显增强,5例中度不均匀增强,以静脉期明显。病灶内有大片低密度坏死,周边强化5例。病理检查8例恶性,6例良性。结论 GST的影像表现缺乏特异性,消化道钡餐造影是基础筛选检查,结合CT可对GST作出比较准确的定位、定性诊断,确诊还需要依靠病理和免疫组化。

浅谈磐石市黄河水库防汛调度

磐石市黄河水库是全省重点中型水库,集雨面积较大,中型水库防汛调度难度大。本文针对黄河水库的基本情况和特点,提出上下游联合调度、动态管理汛限水位,综合考虑安全与效益的关系,实现水库安全的前提下,效益最大化的目标。