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题名离子镀能提高涂层粘附力
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作者
吕世珍
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出处
《四川真空》
1994年第4期42-49,共8页
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关键词
离子镀
涂层
粘附力
物理汽相沉积
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分类号
TQ026
[化学工程]
TB751
[一般工业技术—真空技术]
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题名对镀膜纸卷绕器技术的评论
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作者
吕世珍
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出处
《四川真空》
1991年第1期82-89,共8页
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关键词
镀膜纸
卷绕器
卷绕
造纸机械
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分类号
TS734.7
[轻工技术与工程—制浆造纸工程]
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题名低压磁控溅射和自溅射放电
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作者
Kadlec,S
吕世珍
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出处
《四川真空》
1996年第3期49-56,共8页
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文摘
试验中,测量了直径为100-160mm的3种磁控管在0.1帕以下压强下的工作情况,在低,中等放电功率密度≤10w/cm^2,氩气压强降到1.1~2×10^-2帕的范围时仍能达到稳定的放电。在2~100w/cm^2的靶功率密度范围内测量了自溅射的放电特性,在57w/cm^2功率密度下铜能够发生自溅射,在使用其它5种靶材料银,铅,镉,黄铜和铝青铜时也观察到了自溅射情况。
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关键词
半导体
磁控溅射
自溅射
放电
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分类号
TN305.92
[电子电信—物理电子学]
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题名用溅离子泵抽氢
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作者
Welch,KM
吕世珍
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出处
《四川真空》
1995年第4期21-28,共8页
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文摘
本篇文章讨论了二极型和三极型离子泵抽氢的情况。并说明这些泵中所用的阴极材料类型对抽氢效率有重大影响。所举之例包括了有铝,钛和钛合金阴极材料泵的数据。数据表明的铝阴极二极型泵抽氢并不比抽氦更有效。在压强很低时使用钛阳极和泵体钛屏蔽下会对抽速有一定影响。
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关键词
重离子碰撞器
溅射离子泵
氢气
抽气量
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分类号
O572.2
[理学—粒子物理与原子核物理]
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题名用溅射离子泵轴氦
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作者
Welch,KM
吕世珍
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出处
《四川真空》
1995年第4期10-20,共11页
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文摘
本文中给出了惰性气体和传统型的二极型和三极型泵的氦抽速和抽气量的大量数据。报导了抽氦之后各种不同泵再生程序的有效性,包括烘烤和N2辉光放电清洗特性。本文还报导了随后抽N2时氦的比较解吸情况。这些泵的N2抽速作为确定泵尺寸与其相应氦抽速关系的基准。
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关键词
溅射离子泵
氦气
抽气量
重离子碰撞器
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分类号
O572.2
[理学—粒子物理与原子核物理]
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题名真空镀膜系统的程序控制
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作者
Foley,TP
吕世珍
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出处
《四川真空》
1995年第4期33-35,共3页
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关键词
镀膜系统
真空镀膜
程序控制
薄膜
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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题名用于极高真空的可烘烤低温泵的研制和性能
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作者
Hiroyuli
吕世珍
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出处
《四川真空》
1994年第3期37-43,共7页
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关键词
可烘烤低温泵
低温泵
真空泵
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分类号
TB752.53
[一般工业技术—真空技术]
TB655
[一般工业技术—制冷工程]
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题名射频反应溅射氮化钛的特性和粘着性能
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作者
Buch.,TP
吕世珍
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出处
《四川真空》
1989年第1期34-40,共7页
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关键词
TIN膜
射频反应
溅射
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分类号
TG710.6
[金属学及工艺—刀具与模具]
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