期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
超大面积超导纳米线阵列单光子探测器设计与制备
被引量:
2
1
作者
张笑
吕嘉煜
+10 位作者
管焰秋
李慧
王锡明
张蜡宝
王昊
涂学凑
康琳
贾小氢
赵清源
陈健
吴培亨
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第24期446-456,共11页
超导纳米线单光子探测器(SNSPD)是综合性能最优异的新型单光子探测器之一,而传统的单像元SNSPD不具备空间分辨力,且光敏面小,光学耦合效率存在瓶颈,因此,研制大面积阵列器件是自由空间光子探测等应用的关键.然而,由于器件光敏面由大量...
超导纳米线单光子探测器(SNSPD)是综合性能最优异的新型单光子探测器之一,而传统的单像元SNSPD不具备空间分辨力,且光敏面小,光学耦合效率存在瓶颈,因此,研制大面积阵列器件是自由空间光子探测等应用的关键.然而,由于器件光敏面由大量超导纳米线组成,研发大面积的阵列SNSPD面临工艺复杂、成品率低、制备困难等问题.本文设计了一种超大面积纳米线阵列结构,利用电子束抗蚀剂氢倍半硅氧烷(HSQ)曝光后可形成氧化硅电学隔离层的特点,仅使用简化二维工艺即可完成大阵列SNSPD的制备,对多层结构的传统立体工艺实现了降维.器件经过行方向并联测量,未发现坏点,成品率高,且实现了基础的成像功能验证.此外,本设计中采用了全超导电极以减少电阻热效应,并在像元内增设了串并联电阻,从而均分偏置电流,同时能够可选地扩展阵列规模.本工作为超大型阵列SNSPD的设计与制备提供了一种思路,并有望应用于百万像素阵列SNSPD的制备,与高效读出电路结合实现兼备大视场和高灵敏度的焦平面光子探测与成像系统.
展开更多
关键词
超导纳米线单光子探测器
阵列器件
工艺优化
平面隔离层
下载PDF
职称材料
题名
超大面积超导纳米线阵列单光子探测器设计与制备
被引量:
2
1
作者
张笑
吕嘉煜
管焰秋
李慧
王锡明
张蜡宝
王昊
涂学凑
康琳
贾小氢
赵清源
陈健
吴培亨
机构
南京大学电子科学与工程学院
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第24期446-456,共11页
基金
广东省重点领域研究与发展计划(批准号:2020B030302001)
国家自然科学基金(批准号:12033002,62101240,62071218,6207121461801206,11227904)
+1 种基金
国家重点研发计划(批准号:2017YFA0304002)
江苏省自然科学基金(批准号:BK202010177)资助的课题。
文摘
超导纳米线单光子探测器(SNSPD)是综合性能最优异的新型单光子探测器之一,而传统的单像元SNSPD不具备空间分辨力,且光敏面小,光学耦合效率存在瓶颈,因此,研制大面积阵列器件是自由空间光子探测等应用的关键.然而,由于器件光敏面由大量超导纳米线组成,研发大面积的阵列SNSPD面临工艺复杂、成品率低、制备困难等问题.本文设计了一种超大面积纳米线阵列结构,利用电子束抗蚀剂氢倍半硅氧烷(HSQ)曝光后可形成氧化硅电学隔离层的特点,仅使用简化二维工艺即可完成大阵列SNSPD的制备,对多层结构的传统立体工艺实现了降维.器件经过行方向并联测量,未发现坏点,成品率高,且实现了基础的成像功能验证.此外,本设计中采用了全超导电极以减少电阻热效应,并在像元内增设了串并联电阻,从而均分偏置电流,同时能够可选地扩展阵列规模.本工作为超大型阵列SNSPD的设计与制备提供了一种思路,并有望应用于百万像素阵列SNSPD的制备,与高效读出电路结合实现兼备大视场和高灵敏度的焦平面光子探测与成像系统.
关键词
超导纳米线单光子探测器
阵列器件
工艺优化
平面隔离层
Keywords
superconducting nanowire single photon detector
array device
process optimization
plane isolating layer
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
TB383.1 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超大面积超导纳米线阵列单光子探测器设计与制备
张笑
吕嘉煜
管焰秋
李慧
王锡明
张蜡宝
王昊
涂学凑
康琳
贾小氢
赵清源
陈健
吴培亨
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
2
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部