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国内外生物安全实验室洁净技术比较 被引量:3
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作者 吕希洲 李国钰 《中国工程咨询》 2013年第1期52-54,共3页
随着全球经济贸易一体化的快速发展,国际间的人员及货物的交流越来越频繁,这些都增加了危险致病菌和病毒在全球快速扩散的不可预见性和危害性。以2002年SARS为例,首例严重急性呼吸综合症患者于2002年11月6日在广东省中山市被发现,
关键词 生物安全实验室 洁净技术 国内外 严重急性呼吸综合症 经济贸易 可预见性 SARS 一体化
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超净气体输送管道系统的洁净管理
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作者 李国钰 吕希洲 《中国工程咨询》 2012年第7期59-60,共2页
一.引言 超净的气体输送管道系统,是指具有超净化要求的输送高纯气体、掺杂气体的管道系统,广泛应用于集成电路器件生产、太阳能光伏电池生产、PDF显示器面板生产等微电子领域,该系统输送的气体主要有高纯大宗气体(高纯氧、高纯... 一.引言 超净的气体输送管道系统,是指具有超净化要求的输送高纯气体、掺杂气体的管道系统,广泛应用于集成电路器件生产、太阳能光伏电池生产、PDF显示器面板生产等微电子领域,该系统输送的气体主要有高纯大宗气体(高纯氧、高纯氩、高纯氦、高纯氢等气体)、特气(硅烷、磷烷、砷烷、氯化氢、氯气等工艺气体),以上气体在下文中简称“超净气体”。 展开更多
关键词 气体输送 管道系统 超净化 管理 洁净 高纯气体 集成电路器件 电池生产
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