基于俯视SEM图像的矩形光栅占宽比检测方法

提出了一种利用俯视SEM图像检测矩形光栅占宽比的新方法。对目标检测图像进行灰度轮廓预处理,接着进行基于动态规划和最小二乘样条逼近的边缘检测,最后按照设定的量化评价标准,计算出目标区域内的光栅占宽比的平均值和标准偏差。使用该方法不仅可以快速准确地计算出目标区域内的光栅占宽比和量化评价占宽比空间分布均匀性,也避免了具有破坏性的制样过程,弥补了传统断面测量方法的不足。编写了用于矩形光栅占宽比检测的图像处理软件GradUI。使用此软件对一组1 200线/mm矩形光栅的俯视SEM图像进行检测分析,发现平均占宽比与灰度轮廓估算值的均方根偏差为0.017 3。结果表明,基于俯视SEM图像的矩形光栅占宽比检测方法是有效可行的,同时,也验证了软件的可靠性。

用于气体传感的电容式微机械超声阵列设计

电容式微机械超声阵列(CMUT)是微机电系统(MEMS)气体传感器的常用结构之一。为了在尽可能降低功耗的前提下,提高气体传感器的灵敏度,对电容式微机械超声阵列尺寸进行优化。首先基于一阶集总电机械振动模型进行理论分析,发现其灵敏度与塌陷电压成正相关,并主要受振膜厚度、电极间距和电极半径影响,以此为依据设计符合要求的参数。然后使用COMSOL多物理场仿真软件,综合结构特点、空气阻尼、外接电路、弹性软化等因素的影响,提出一种更接近实际的有限元模型。将理论分析结果代入,对尺寸参数进行进一步优化,得到塌陷电压11.3V,灵敏度-3.253×1017 Hz/kg,共振频率4.858MHz,品质因数121.45的电容式微机械超声阵列。

基于语义网络分析的微信公众平台转基因议题研究

近年来,食品安全问题成为人们讨论的热点话题,公众关注度日益升温,其中转基因食品问题在世界范围内引起激烈争论。随着网络新媒体的迅猛发展,微博、微信等社交网络新媒体成为人们获取新闻资讯的重要渠道,特别是微信公众平台,作为自媒体热捧的信息发布平台,其关于转基因所涉及到哪些议题成为研究的重心。本研究运用语义网络分析方法对通过微信公众平台采集的824篇有关转基因议题的文章进行分析,探讨其有关转基因食品及作物的内容中所涉及的方面和偏向性,以可视化图像直观呈现其议题内容涉及到的转基因生物安全政策、食品标识政策、转基因食品辨别科普、转基因食品事件披露等多个层面,并针对其若干问题提出了相应的分析建议。