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超纯氢储氢合金瓶应用于亚毫微秒双极集成电路U型槽隔离多晶硅填槽工艺
1
作者
谢明纲
何德湛
+1 位作者
陈明琪
吴佛春
《上海半导体》
1991年第4期15-16,共2页
关键词
储氢
合金瓶
双极集成电路
填槽工
下载PDF
职称材料
全离子注入多晶硅自对准超高速双极LSL工艺研究
2
作者
陈明琪
吴佛春
《上海半导体》
1989年第1期1-5,共5页
关键词
超高速
LSL工艺
双极型
多晶硅
全文增补中
题名
超纯氢储氢合金瓶应用于亚毫微秒双极集成电路U型槽隔离多晶硅填槽工艺
1
作者
谢明纲
何德湛
陈明琪
吴佛春
机构
中国科学院上海冶金研究所
出处
《上海半导体》
1991年第4期15-16,共2页
关键词
储氢
合金瓶
双极集成电路
填槽工
分类号
TN405.95 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
全离子注入多晶硅自对准超高速双极LSL工艺研究
2
作者
陈明琪
吴佛春
出处
《上海半导体》
1989年第1期1-5,共5页
关键词
超高速
LSL工艺
双极型
多晶硅
分类号
TN305.4 [电子电信—物理电子学]
全文增补中
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超纯氢储氢合金瓶应用于亚毫微秒双极集成电路U型槽隔离多晶硅填槽工艺
谢明纲
何德湛
陈明琪
吴佛春
《上海半导体》
1991
0
下载PDF
职称材料
2
全离子注入多晶硅自对准超高速双极LSL工艺研究
陈明琪
吴佛春
《上海半导体》
1989
0
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