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国外半导体微细加工设备发展动向
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作者 吴健昌 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1991年第3期47-53,共7页
1 曝光设备 由于集成电路由1M向16M进而向256M的方向发展,要求图形线宽跟着进一步缩小。以前较为流行的看法是光学曝光只能用到1μm,进入亚微米以后必须使用电子束等其它曝光技术,但是随着准分子激光光源的出现。光学曝光已突破1μm的... 1 曝光设备 由于集成电路由1M向16M进而向256M的方向发展,要求图形线宽跟着进一步缩小。以前较为流行的看法是光学曝光只能用到1μm,进入亚微米以后必须使用电子束等其它曝光技术,但是随着准分子激光光源的出现。光学曝光已突破1μm的禁区。因此。 展开更多
关键词 加工设备 微电子学 半导体
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大灾之下 信息化在行动
2
作者 吴健昌 《上海信息化》 2008年第6期8-16,共9页
这是一场震惊世界的大灾难2008年5月12日发生的汶川大地震,是新中国历史上破坏性最强,波及范围最大的一次地震。这是一场气壮山河的大营救不分东西南北,无论男女老少,全国上下紧急动员,以最快的速度、集结最大的力量,投入到抗震救灾中... 这是一场震惊世界的大灾难2008年5月12日发生的汶川大地震,是新中国历史上破坏性最强,波及范围最大的一次地震。这是一场气壮山河的大营救不分东西南北,无论男女老少,全国上下紧急动员,以最快的速度、集结最大的力量,投入到抗震救灾中。创造了我国救灾史上救援力量调动、物资调运、资金调拨规模和速度等多项纪录,社会各界捐款也创历次社会捐助之最。在这次严峻考验中,全国人民手牵手、肩并肩、心连心,用拳拳爱心和实际行动,谱写了一曲震天撼地的生命赞歌。而在与死神的赛跑中,时间就是生命,如何在有限的时间内救助更多生命,牵动了亿万人民关切的目光,也凝铸了信息化各行各业的汗水与心血! 展开更多
关键词 信息化 中国 大地震 破坏性
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国外微细加工技术的新进展
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作者 吴健昌 《微细加工技术》 1990年第4期44-47,共4页
日立制作所新研制成电子束缩小曝光装置已曝光出线宽为0.2μm的存储器图形,线宽精度为0.02μm。在Si板上制造放大25倍的图形,图形精度为0.5μm,每次曝光面积为4μm×4μm,一次可曝光24个存储单元阵列,现在有四种固定图形可供选用。... 日立制作所新研制成电子束缩小曝光装置已曝光出线宽为0.2μm的存储器图形,线宽精度为0.02μm。在Si板上制造放大25倍的图形,图形精度为0.5μm,每次曝光面积为4μm×4μm,一次可曝光24个存储单元阵列,现在有四种固定图形可供选用。对于图形中很不规则部分则用可变成形束曝光,这种装置的生产效率比过去的步进重复曝光要提高一百倍。 展开更多
关键词 微细加工
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采用RFQ加速器的高能离子注入机 被引量:1
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作者 浅利正敏 开本亮 吴健昌 《微细加工技术》 1990年第4期61-67,共7页
近几年来,具有兆电子伏(以下简称MeV)能量的离子束在很多领域中获得广泛利用。它在VLSI等半导体离子注入中尤其可望取得崭新的进展。这是因为用MeV级能量进行离子注入时,离子注入的深度比过去的中能离子注入要多好几倍。例如,已经有人... 近几年来,具有兆电子伏(以下简称MeV)能量的离子束在很多领域中获得广泛利用。它在VLSI等半导体离子注入中尤其可望取得崭新的进展。这是因为用MeV级能量进行离子注入时,离子注入的深度比过去的中能离子注入要多好几倍。例如,已经有人提出要将它用于反向阱、埋入栅以及ROM编程等方面的设想,而且已经开始在某些器件中应用。 展开更多
关键词 RFQ 加速器 离子注入机 高能
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ELISA方法检测猪尿中克伦特罗的方法验证 被引量:2
5
作者 周珊珊 吴健昌 +2 位作者 万庆文 叶惠仪 林洁彤 《畜牧兽医科技信息》 2020年第3期30-31,共2页
为了验证ELISA方法检测猪尿中克伦特罗残留量的可行性,采用ELISA方法对试剂盒的校正曲线的线性相关关系、检测限、重复性和样品加标回收率进行了验证.结果为,试剂盒的校正曲线的线性相关系数为0.985;定性检出限为0.147ng/mL,定量检出限... 为了验证ELISA方法检测猪尿中克伦特罗残留量的可行性,采用ELISA方法对试剂盒的校正曲线的线性相关关系、检测限、重复性和样品加标回收率进行了验证.结果为,试剂盒的校正曲线的线性相关系数为0.985;定性检出限为0.147ng/mL,定量检出限为0.490ng/mL;添加0.5ng/mL、1.0ng/mL、5.0ng/mL的克伦特罗标准液时,变异系数分别为2.29%、6.97%、2.73%,平均回收率分别为91.8%、102.4%、99.7%.结果表明应用ELISA方法检测猪尿中克伦特罗残留量符合实验室质量控制规范的要求,适合检测猪尿中克伦特罗残留量的初筛. 展开更多
关键词 酶联免疫吸附法 克伦特罗 兽药残留 方法验证
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苏联离子注入机研制工作发展概况
6
作者 A.F.Vyatkin V.V.Simonov +1 位作者 A.l.kholopkin 吴健昌 《微细加工技术》 1991年第3期71-79,共9页
1 前言 和一些发达的西方国家一样,苏联在离子注入半导体方面的研究工作也是起步于五十年代和六十年代初,最初进行这项科研的学科是半导体物理和固体原子碰撞物理。1952年列宁格勒技术物理研究所的M.M.Berdov观察到P型锗在受到Li^+离子... 1 前言 和一些发达的西方国家一样,苏联在离子注入半导体方面的研究工作也是起步于五十年代和六十年代初,最初进行这项科研的学科是半导体物理和固体原子碰撞物理。1952年列宁格勒技术物理研究所的M.M.Berdov观察到P型锗在受到Li^+离子辐照时其导电类型发生变化的现象。1961年库恰托夫原子能研究所离子轰击研究室的V.M.Gusev和M.I.Guseva用Ⅲ—Ⅴ族元素的离子辐照硅时获得了整流性能很好的p—n结。这些以及随后进行的一些研究工作证实了将离子注入到半导体器件的技术是可行的,这种新出现的技术提出了研制合适的工业用的离子注入设备的要求。 展开更多
关键词 离子注入 离子注入机 苏联
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用于离子注入的高能大束流射频加速器的设计研究
7
作者 R.W.Thomae 吴健昌 《微细加工技术》 1990年第1期67-72,共6页
离子注入是半导体器件制造中一项很重要的工艺,由于微电子工业对具有MeV级能量的离子注入的兴趣日益增长,对高能离子束的要求也日益迫切,此外,在某些应用中,需要有高达10^(18)离子/厘米~2的注入剂量,这就意谓着高能离子束必须具有大束... 离子注入是半导体器件制造中一项很重要的工艺,由于微电子工业对具有MeV级能量的离子注入的兴趣日益增长,对高能离子束的要求也日益迫切,此外,在某些应用中,需要有高达10^(18)离子/厘米~2的注入剂量,这就意谓着高能离子束必须具有大束流。对于高能、大束流这两项要求,射频linac(直线加速器)系统都可很好地满足。 展开更多
关键词 离子注入 射频加速器
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牛亚洲Ⅰ型口蹄疫抗体血清学调查
8
作者 张如英 周珊珊 +1 位作者 吴健昌 吴婷兴 《畜牧兽医科技信息》 2020年第7期39-40,共2页
为掌握东莞市活牛交易市场牛亚洲Ⅰ型口蹄疫抗体水平情况,在交易市场采集牛血清,采用ELISA方法进行亚洲Ⅰ型口蹄疫抗体水平监测。结果为,近3年共监测牛血清240份,亚洲Ⅰ型口蹄疫抗体阳性数137份,抗体阳性率58.75%,2017-2019年的抗体阳... 为掌握东莞市活牛交易市场牛亚洲Ⅰ型口蹄疫抗体水平情况,在交易市场采集牛血清,采用ELISA方法进行亚洲Ⅰ型口蹄疫抗体水平监测。结果为,近3年共监测牛血清240份,亚洲Ⅰ型口蹄疫抗体阳性数137份,抗体阳性率58.75%,2017-2019年的抗体阳性率分别为52.22%、76.67%、48.89%。结果表明,东莞市活牛交易市场牛亚洲Ⅰ型口蹄疫抗体水平偏低,不能抵御野毒的侵袭,存在感染亚洲Ⅰ型口蹄疫的风险。 展开更多
关键词 亚洲Ⅰ型 口蹄疫抗体 血清学
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应用三重荧光RT-PCR方法检测H5、H7、H9亚型禽流感病毒核酸
9
作者 周珊珊 吴健昌 +2 位作者 万庆文 叶惠仪 陈桂霞 《畜牧兽医科技信息》 2020年第4期43-44,共2页
为了验证三重荧光RT-PCR方法检测H5、H7、H9亚型禽流感病毒核酸的可行性,应用建立的方法分别检测H5、H7、H9亚型禽流感病毒和新城疫病毒抗原,验证该方法的特异性、敏感性和重复性,并用建立的方法检测临床样品。结果为,三重荧光RT-PCR方... 为了验证三重荧光RT-PCR方法检测H5、H7、H9亚型禽流感病毒核酸的可行性,应用建立的方法分别检测H5、H7、H9亚型禽流感病毒和新城疫病毒抗原,验证该方法的特异性、敏感性和重复性,并用建立的方法检测临床样品。结果为,三重荧光RT-PCR方法能分别特异检出H5、H7和H9亚型禽流感病毒抗原。最低的检出限为H5亚型禽流感抗原(Re-11株)10-7的稀释度,变异系数(CV)为1.25%。检测100份鸡喉拭子,H5、H7亚型禽流感病毒核酸均为阴性,H9亚型禽流感病毒核酸13份阳性,阳性率为13.00%。结果表明,建立的三重荧光RT-PCR方法通过一个反应体系可以检测H5、H7、H9亚型禽流感病毒核酸、具有快速、灵敏、特异的特点,适合对禽类的大规模监测。 展开更多
关键词 三重荧光RT-PCR 禽流感病毒 禽类 核酸
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生猪定点屠宰检疫和保障肉品安全的实践探讨
10
作者 邹保健 吴健昌 江灿芬 《农家致富顾问》 2020年第16期264-264,共1页
分析目前生猪定点屠宰检疫工作开展基本情况,可以知道,在多种因素影响下,此项工作出现了较多的问题,使得猪肉制品的安全性无法得到良好的保障,给广大猪肉消费者的人身安全造成了很大的威胁,所以需要生猪屠宰检疫人员对于该工作包含的内... 分析目前生猪定点屠宰检疫工作开展基本情况,可以知道,在多种因素影响下,此项工作出现了较多的问题,使得猪肉制品的安全性无法得到良好的保障,给广大猪肉消费者的人身安全造成了很大的威胁,所以需要生猪屠宰检疫人员对于该工作包含的内容加强学习,掌握屠宰检疫工作开展的关键点,之后在保障肉品安全意识的指导下有效做好屠宰检疫工作,确保最终流入到市场中的猪肉品质优良。基于此本文对当前生猪定点屠宰检疫工作进行期间的问题进行了概述,结合问题提出了几方面有助于生猪定点屠宰检疫工作良好开展的措施,希望这些措施应用过后可以显著提升猪肉安全性。 展开更多
关键词 生猪 屠宰 检疫 安全 措施 方法
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