基于原子层沉积技术的X射线多层膜的制备研究

X射线多层膜是X射线光学领域的重要反射元件,可利用X射线的布拉格反射实现特定波段X射线的高效反射。多层膜的反射率与膜层材料和膜层结构密切关系,根据多层膜的工作原理,对于高能波段的X射线,为获得较大掠射角下的高反射率,通常需要多层膜具有更小的周期厚度和更大的周期数,因此高精度薄膜生长技术是X射线多层膜元件制备的必要条件。本文研究了基于原子层沉积技术的X射线多层膜的制备,首先利用Fresnel系数递推法计算出HfO_(2)/Al_(2)O_(3)、Ir/Al_(2)O_(3)、Ru/Al_(2)O_(3)、W/Al_(2)O_(3)四种材料组合的多层膜的反射率,讨论了材料组合、周期厚度、周期数、占空比等参数对多层膜反射率的影响。在此基础上,选取并制备了周期厚度为4 nm、周期数为60、占空比为0.5的HfO_(2)/Al_(2)O_(3)X射线多层膜。X射线(0.154 nm)反射率的分析结果显示,该多层膜的周期厚度为3.86 nm,反射率约43%,多层膜截面的透射电子显微镜(TEM)图显示膜层间界面清晰。该结果验证了原子层沉积法制备小周期厚度X射线多层膜元件的可行性。

浙江省杭州市江千区人大常委会关注留用地开发建设

留用地的开发建设关系到城市化进程、村社集体经济的发展以及失地农民的生产生活、就业创业。对此，杭州市江干区人大常委会十分重视，专门组织代表对全区的留用地开发建设情况进行调研。在听取政府相关职能部门的汇报后，代表们建议，发挥区、镇、村三级联动机制，加强与城东新城等市级做地主体协调沟通，力争在做地主体完成总体区域规划布置前完成留用地的相对集中布置。

浙江杭州市江干区人大常委会关注留用地开发建设

留用地的开发建设关系到城市化进程、村社集体经济的发展以及失地农民生产生活、就业创业。对此，杭州市江干区人大常委会十分重视，专门组织代表对全区的留用地开发建设情况进行调研，在听取政府相关职能部门的汇报后，代表们建议发挥区、镇、村三级联动机制，加强与城东新城等市级做地主体协调沟通，