超大规模集成电路用超净高纯过氧化氢的制备研究

采用吸附-离子交换-膜分离集成纯化制备了超净高纯过氧化氢,讨论了过氧化氢中各种树脂的温度变化、不同膜对过氧化氢中颗粒脱除的影响和过氧化氢纯化效果。此外,分析了超净高纯化学品生产中存在的问题,为今后的高纯超净化学品提出了方向。