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液态源可控蒸发输送系统
被引量:
1
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作者
吴得轶
杨彬
《电子工业专用设备》
2014年第8期28-30,58,共4页
在太阳能电池、微电子等半导体工艺制程中,液态源以生产效率高、成膜特性好、气压小不易泄漏等优点,广泛应用于扩散、氧化、化学气相沉积等工艺。如:在太阳能电池PN结制程中,掺杂用的液态磷源、液态硼源,以及在湿氧氧化工艺中使用的蒸馏...
在太阳能电池、微电子等半导体工艺制程中,液态源以生产效率高、成膜特性好、气压小不易泄漏等优点,广泛应用于扩散、氧化、化学气相沉积等工艺。如:在太阳能电池PN结制程中,掺杂用的液态磷源、液态硼源,以及在湿氧氧化工艺中使用的蒸馏水;在光电子、微电子行业中,化学气相淀积设备(CVD)使用的HMDSO、TEOS、SiHCl3等。实验数据显示,这些液态源的输送对各种掺杂、氧化、淀积工艺的质量具有很大影响。对液态源输送的技术现状进行阐述,分析了现有技术的特性和缺点,并结合未来工艺对装备要求的趋势,在此基础上提出了一种液态源可控蒸发输送系统。
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关键词
液态源输送
扩散炉
氧化炉
化学气相淀积
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职称材料
高效PERC电池智能制造新模式应用研究
被引量:
2
2
作者
朱辉
张春成
+1 位作者
吴得轶
黄心沿
《制造业自动化》
CSCD
北大核心
2021年第7期134-136,共3页
介绍了一种通过高效PERC电池智能制造新模式应用,实现光伏电池生产车间产品设计、工艺、制造、检测、物流、管理等各环节智能化和高效光伏电池的智能化生产。
关键词
高效PERC
智能制造
新模式
光伏电池
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职称材料
管式PECVD设备反应室结构的优化设计与数值仿真研究
被引量:
1
3
作者
郭艳
李明
吴得轶
《太阳能》
2020年第4期42-46,共5页
根据管式PECVD设备反应室的环形进气方式和平面进气方式建立了几何模型,并进行了三维流场数值仿真分析,然后根据仿真结果对反应室结构进行了优化设计。数值仿真对PECVD设备反应室结构的优化设计及工艺调试具有重要的指导意义。
关键词
管式
PECVD
反应室
结构
流场数值仿真
优化设计
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职称材料
题名
液态源可控蒸发输送系统
被引量:
1
1
作者
吴得轶
杨彬
机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
出处
《电子工业专用设备》
2014年第8期28-30,58,共4页
文摘
在太阳能电池、微电子等半导体工艺制程中,液态源以生产效率高、成膜特性好、气压小不易泄漏等优点,广泛应用于扩散、氧化、化学气相沉积等工艺。如:在太阳能电池PN结制程中,掺杂用的液态磷源、液态硼源,以及在湿氧氧化工艺中使用的蒸馏水;在光电子、微电子行业中,化学气相淀积设备(CVD)使用的HMDSO、TEOS、SiHCl3等。实验数据显示,这些液态源的输送对各种掺杂、氧化、淀积工艺的质量具有很大影响。对液态源输送的技术现状进行阐述,分析了现有技术的特性和缺点,并结合未来工艺对装备要求的趋势,在此基础上提出了一种液态源可控蒸发输送系统。
关键词
液态源输送
扩散炉
氧化炉
化学气相淀积
Keywords
Liquid source delivery
Diffusion furnace
Oxidation furnace
Chemical vapor deposition (CVD)
分类号
TM615 [电气工程—电力系统及自动化]
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职称材料
题名
高效PERC电池智能制造新模式应用研究
被引量:
2
2
作者
朱辉
张春成
吴得轶
黄心沿
机构
湖南红太阳光电科技有限公司光伏装备工程部
中南大学机电工程学院
出处
《制造业自动化》
CSCD
北大核心
2021年第7期134-136,共3页
文摘
介绍了一种通过高效PERC电池智能制造新模式应用,实现光伏电池生产车间产品设计、工艺、制造、检测、物流、管理等各环节智能化和高效光伏电池的智能化生产。
关键词
高效PERC
智能制造
新模式
光伏电池
分类号
TP12 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
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职称材料
题名
管式PECVD设备反应室结构的优化设计与数值仿真研究
被引量:
1
3
作者
郭艳
李明
吴得轶
机构
湖南红太阳光电科技有限公司
出处
《太阳能》
2020年第4期42-46,共5页
文摘
根据管式PECVD设备反应室的环形进气方式和平面进气方式建立了几何模型,并进行了三维流场数值仿真分析,然后根据仿真结果对反应室结构进行了优化设计。数值仿真对PECVD设备反应室结构的优化设计及工艺调试具有重要的指导意义。
关键词
管式
PECVD
反应室
结构
流场数值仿真
优化设计
Keywords
tubular
PECVD
structure
reaction chamber
flow field numerical simulation
optimized design
分类号
TK513.5 [动力工程及工程热物理—热能工程]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
液态源可控蒸发输送系统
吴得轶
杨彬
《电子工业专用设备》
2014
1
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职称材料
2
高效PERC电池智能制造新模式应用研究
朱辉
张春成
吴得轶
黄心沿
《制造业自动化》
CSCD
北大核心
2021
2
下载PDF
职称材料
3
管式PECVD设备反应室结构的优化设计与数值仿真研究
郭艳
李明
吴得轶
《太阳能》
2020
1
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职称材料
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