转印式pL级液体分配方法的性能分析与实验

高黏度液体的pL级微量分配和狭小空间内的点样是微量液体分配的难点,针对这个问题,文中从机理上分析了影响转印式pL级点样性能的因素,通过实验研究了液体黏度、移液针的移动速度、停留时间、液窝对点样性能的影响,实现了高黏度(5、30Pa·s)的pL级液体分配和窄缝内(0.5mm×20mm)的微量点样.研究结果表明:低速点样时,液体分配量随着液体黏度的增加呈增加趋势,且受移液针停留时间的影响较小;高速点样时,液体黏度对液体分配量的影响较小,但移液针的停留时间对点样量有较大的影响;通过合理匹配参数,转印式液滴分配方法可以有效地抑制液窝的生成,减小随机因素的影响,实现高黏度液体的高准确性、高一致性pL级超微量点样和狭小空间内的封装点样.

化学机械抛光过程低k/铜表面材料去除机制及损伤机制研究进展

针对低k介质/铜表面在平坦化加工中极易造成材料界面剥离、互连线损伤和表面不平整等问题,国内外学者对CMP过程中的材料去除机制以及损伤机制开展了大量的研究工作。对集成电路平坦化工艺——化学机械抛光过程中低k介质/铜界面的力学行为和摩擦损伤特性研究进展进行综述,介绍异质表面的材料去除行为及去除理论研究现状;展望了化学机械抛光过程低k介质/铜表面去除机制研究的研究趋势,即通过对异质界面的分子原子迁移行为研究,揭示异质表面的微观材料去除机制及损伤形成机制,最终寻找到异质表面平坦化及损伤控制方法。

肝细胞肝癌免疫微环境与治疗研究新进展

肝细胞肝癌是全球第六大常见癌症,预后极差。现行肝癌治疗手段包括手术切除、肝移植、射频消融及经肝动脉栓塞化疗等,但这些治疗方案在晚期肝癌患者中收效甚微。目前,针对晚期肝癌患者,以细胞增殖、转移和血管生成为靶点的治疗策略也取得一定的疗效,但总体效果仍未能令人满意。值得注意的是,肝癌治疗中化疗、靶向治疗及免疫治疗的有效性与患者自身(原发性)或治疗后(继发性)的组织免疫微环境密切相关。总结肝癌免疫微环境塑造和功能的研究新进展,介绍新近肝癌临床治疗策略,重点关注现行治疗策略对局部肿瘤免疫微环境的影响,并进一步讨论目前肝癌临床前研究对后续新治疗策略产生的启发。