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加快发展超纯化学试剂 被引量：2
1
作者 吴镇堃 《洗净技术》 2003年第08M期41-43,共3页
近几十年来,随着航天技术以及各个领域高科技的飞速发展,微电子工业也呈现出加速发展的势头.
关键词 超纯化学试剂 集成电路 微电子行业 超精密清洗 超净高纯化学试剂
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