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场发射阵列(FEA)的稳定性(S)和可靠性(R)的研究
被引量:
1
1
作者
宋海波
李琼
+5 位作者
刘新福
袁美英
徐静芳
张段
吴骏雷
柳襄怀
《电子器件》
CAS
1994年第3期22-24,共3页
FEA器件的性能由于半导体工艺水平和微机械加工技术的发展有了很大地提高。而其稳定和可靠性的研究是走向实用的必经过程。本文分析了温度、电压等因素对FEA器件稳定和可靠性的影响。并研究了尖端发射表面功函数Φ、尖端发射面积...
FEA器件的性能由于半导体工艺水平和微机械加工技术的发展有了很大地提高。而其稳定和可靠性的研究是走向实用的必经过程。本文分析了温度、电压等因素对FEA器件稳定和可靠性的影响。并研究了尖端发射表面功函数Φ、尖端发射面积S和尖端表面场强E与器件稳定性和可靠性的关系。
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关键词
稳定性
可靠性
场发射阵列
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职称材料
题名
场发射阵列(FEA)的稳定性(S)和可靠性(R)的研究
被引量:
1
1
作者
宋海波
李琼
刘新福
袁美英
徐静芳
张段
吴骏雷
柳襄怀
机构
华东师范大学电子科学技术系
出处
《电子器件》
CAS
1994年第3期22-24,共3页
基金
国家自然科学基金
文摘
FEA器件的性能由于半导体工艺水平和微机械加工技术的发展有了很大地提高。而其稳定和可靠性的研究是走向实用的必经过程。本文分析了温度、电压等因素对FEA器件稳定和可靠性的影响。并研究了尖端发射表面功函数Φ、尖端发射面积S和尖端表面场强E与器件稳定性和可靠性的关系。
关键词
稳定性
可靠性
场发射阵列
Keywords
FEA device,stabilty,reliability
分类号
TN406 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN306 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
场发射阵列(FEA)的稳定性(S)和可靠性(R)的研究
宋海波
李琼
刘新福
袁美英
徐静芳
张段
吴骏雷
柳襄怀
《电子器件》
CAS
1994
1
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职称材料
已选择
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引证文献
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