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直流弧光放电等离子体CVD金刚石薄膜中的晶体类型与特征
被引量:
4
1
作者
张湘辉
汪灵
+2 位作者
龙剑平
常嗣和
周九根
《矿物岩石》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期100-104,共5页
采用自主研制的直流弧光放电等离子体CVD设备,以甲烷和氢气为气源,在YG 6硬质合金基体上制备出主显晶面为(100)、(111)以及纳米晶粒的金刚石薄膜涂层。SEM观测其晶体类型主要为立方体、八面体、立方八面体,其中以立方八面体为主。随着...
采用自主研制的直流弧光放电等离子体CVD设备,以甲烷和氢气为气源,在YG 6硬质合金基体上制备出主显晶面为(100)、(111)以及纳米晶粒的金刚石薄膜涂层。SEM观测其晶体类型主要为立方体、八面体、立方八面体,其中以立方八面体为主。随着碳源气体浓度的增加,金刚石晶体的形态会呈现从八面体-立方八面体-立方体顺序转变的趋势;而薄膜的表面形貌呈现从主显(111)晶面-(111)与(100)晶面混杂-主显(100)晶面顺序转变的特征。此外,CVD金刚石薄膜中还存在有许多类似接触孪晶、贯穿孪晶、复合孪晶,以及球形或聚晶晶粒形态的晶体,并且多数孪晶属于类似{111}复合孪晶结构。
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关键词
金刚石
金刚石薄膜
直流弧光放电等离子体CVD
YG6硬质合金
晶体类型
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职称材料
题名
直流弧光放电等离子体CVD金刚石薄膜中的晶体类型与特征
被引量:
4
1
作者
张湘辉
汪灵
龙剑平
常嗣和
周九根
机构
成都理工大学金刚石薄膜实验室
出处
《矿物岩石》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期100-104,共5页
基金
四川省教育厅自然科学重点科研项目(编号2003A142)
四川省重点科技攻关项目(05GG021-001)
文摘
采用自主研制的直流弧光放电等离子体CVD设备,以甲烷和氢气为气源,在YG 6硬质合金基体上制备出主显晶面为(100)、(111)以及纳米晶粒的金刚石薄膜涂层。SEM观测其晶体类型主要为立方体、八面体、立方八面体,其中以立方八面体为主。随着碳源气体浓度的增加,金刚石晶体的形态会呈现从八面体-立方八面体-立方体顺序转变的趋势;而薄膜的表面形貌呈现从主显(111)晶面-(111)与(100)晶面混杂-主显(100)晶面顺序转变的特征。此外,CVD金刚石薄膜中还存在有许多类似接触孪晶、贯穿孪晶、复合孪晶,以及球形或聚晶晶粒形态的晶体,并且多数孪晶属于类似{111}复合孪晶结构。
关键词
金刚石
金刚石薄膜
直流弧光放电等离子体CVD
YG6硬质合金
晶体类型
Keywords
diamond
diamond film
DC arc discharge plasma chemical vapor deposition
tungsten carbide
crystalline morphology
分类号
P619.241 [天文地球—矿床学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
直流弧光放电等离子体CVD金刚石薄膜中的晶体类型与特征
张湘辉
汪灵
龙剑平
常嗣和
周九根
《矿物岩石》
CAS
CSCD
北大核心
2005
4
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职称材料
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