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多孔硅的椭偏光谱研究
1
作者
莫党
周光增
+2 位作者
林位株
张树霖
蔡生民
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第3期177-181,共5页
本文用椭偏光谱法研究多孔硅.采用有效介质理论,从椭偏光谱数据定出不同实验条件下制备成的多孔硅样品的孔隙率.其次,从紫外一可见范围的椭偏光谱得到多孔硅介电函数虚部谱,并与单晶硅相应谱作比较.结果表明主峰带隙随着多孔硅空...
本文用椭偏光谱法研究多孔硅.采用有效介质理论,从椭偏光谱数据定出不同实验条件下制备成的多孔硅样品的孔隙率.其次,从紫外一可见范围的椭偏光谱得到多孔硅介电函数虚部谱,并与单晶硅相应谱作比较.结果表明主峰带隙随着多孔硅空隙率增加而向高能方向移动,同时在<3eV区出现新的吸收带,与能带理论计算结果相符.
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关键词
多孔硅
椭偏光谱
电子能带结构
下载PDF
职称材料
题名
多孔硅的椭偏光谱研究
1
作者
莫党
周光增
林位株
张树霖
蔡生民
机构
中山大学物理系
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第3期177-181,共5页
文摘
本文用椭偏光谱法研究多孔硅.采用有效介质理论,从椭偏光谱数据定出不同实验条件下制备成的多孔硅样品的孔隙率.其次,从紫外一可见范围的椭偏光谱得到多孔硅介电函数虚部谱,并与单晶硅相应谱作比较.结果表明主峰带隙随着多孔硅空隙率增加而向高能方向移动,同时在<3eV区出现新的吸收带,与能带理论计算结果相符.
关键词
多孔硅
椭偏光谱
电子能带结构
Keywords
Ellipsometry
Spectroscopic analysis
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
O471.5 [理学—半导体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多孔硅的椭偏光谱研究
莫党
周光增
林位株
张树霖
蔡生民
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995
0
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