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多孔硅的椭偏光谱研究
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作者 莫党 周光增 +2 位作者 林位株 张树霖 蔡生民 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期177-181,共5页
本文用椭偏光谱法研究多孔硅.采用有效介质理论,从椭偏光谱数据定出不同实验条件下制备成的多孔硅样品的孔隙率.其次,从紫外一可见范围的椭偏光谱得到多孔硅介电函数虚部谱,并与单晶硅相应谱作比较.结果表明主峰带隙随着多孔硅空... 本文用椭偏光谱法研究多孔硅.采用有效介质理论,从椭偏光谱数据定出不同实验条件下制备成的多孔硅样品的孔隙率.其次,从紫外一可见范围的椭偏光谱得到多孔硅介电函数虚部谱,并与单晶硅相应谱作比较.结果表明主峰带隙随着多孔硅空隙率增加而向高能方向移动,同时在<3eV区出现新的吸收带,与能带理论计算结果相符. 展开更多
关键词 多孔硅 椭偏光谱 电子能带结构
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