基于超声波半导体靶材自动检测系统的研究

为了检测半导体靶材内部氧化物杂质、未焊合、空隙等缺陷,且在检测过程中不对产品造成损伤,提出了一种利用超声波的半导体靶材自动检测系统。该系统采用相控阵探头水浸检测,三轴移动系统中X轴和Y轴检测速度达到1000 mm/s,可对铜、铝、钴、镍等靶材内部夹杂、分层、气泡、内裂等细小缺陷进行检测,可判断缺陷大小、位置和深度并形成报告。实验结果表明:该系统可以发现靶材内部当量直径0.3 mm大小的缺陷,且具有较高的检测效率、稳定性和可靠性。

基于阵列式超声波储气井壁厚检测系统的研究

防止因储气井管道壁变薄而引发的储气井故障和天然气泄漏的风险,且为解决传统方法检测管壁的厚度值精度低、可靠性差,达不到标准而被继续使用,本文设计了基于阵列式的单晶探头超声波来检测储气井井筒壁厚的系统,该系统采用64组单晶探头串行激发超声脉冲,并完成64通道超声回波数据的采集,通过每个单晶探头的回波数据差异,包括波形的频率、振幅、相位和差异度系数,运用超声波的声束形成算法对波形信息差异进行运算,以获取储气井壁厚结构的缺陷特征参数,包括缺陷状态、缺陷位置、缺陷大小和缺陷角度。阵列式超声板卡,将信息发送给PC端的上位机,上位机对管道的状态进行分析、显示、存储和预警。系统实现储气井壁缺陷的自动检测和壁厚精确测量。