基于接近接触式曝光机的暗场对准技术

为了解决接近接触式曝光机实际生产过程中标记范围较小的问题,设计一种气缸控制结构。配合显微镜的升降和显微镜的光路,形成一套适用于接近接触式曝光机的暗场对准的软硬件技术,实现了暗场掩膜对准的成本降低,提升了接近接触式曝光机的对准效率和稳定性提升。