掺银SnO_x薄膜的催化作用

掺银ＳｎＯ_ｘ薄膜的催化作用张勇，周坤粦，曹伟民（中国科学院成都有机化学研究所成都６１００４１）关键词气敏薄膜，表面掺杂，催化ＳｎＯ２是重要的气敏传感材料，采用纳米技术，可使元件微型化、集成化，并可提高灵敏度。本文以等离子体增强化学气相沉积法制得超微?..

六甲基二硅胺烷的等离子体聚合

在室温和无添加气体条件下,完成了六甲基二硅胺烷较低功率密度的等寒子体聚合。研究了聚合膜的沉积规律和过程。给出了聚合物膜的结构和性质。得到经验式为 C_(1.42)H_(2.65)N_(0.2)O_(0.15)Si的新聚合物。

冷等离子体制备铝的氧化物膜

冷等离子体制备铝的氧化物膜张勇，周坤，曹伟民，文晓刚（中国科学院成都有机化学研究所，成都，６１００４１）氧化铝是一种重要的无机材料，在微电子工业、机械工业及化学工业等方面有着广泛的应用前景。采用冷等离子体制备的氧化铝膜具有独特的性能：采用干法制膜，升...

含铁聚合物薄膜的制备、结构和性能

采用等离子体增强金属有机化合物化学气相沉积（PEMOCVD）工艺制备含铁聚合物薄膜。考察了偏压、源物加热电压对膜的沉积速率及膜中Fe的填充系数的影响。用IR，XPS，TEM和TED对膜的组成和结构进行了分析，表明薄膜具有Fe团簇镶嵌在聚合物基质中的杂混结构特征。对薄膜的光学、电学及湿敏特性进行了研究，证明膜的填充系数对膜的结构和性能都有很大的影响。该薄膜具有较好的湿敏性能。

氮化钛超微细粉PTFE基复合材料的摩擦性能

聚四氟乙烯（PTFE）是一种广泛应用的固体润滑剂,其特点是润滑性优异,比磨损率较高。高比磨损率的主要原因是机械强度较差,在高负荷或高速滑动下,因过大的粘弹性变形和转移膜与偶面附着性差而不断在磨损中剥落所致。为了降低PTFE的比磨损率,主要是采取填充填料（纤维、无机粉末、有机物和金属等）制成复合材料来使用,对其减磨机理和效果有过报道。迄今,粉末填充的颗粒都较粗,对填充超微细粉（UFP）复合材料的磨损性能研究很少。

等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜

本文介绍了等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜的制备、性质和结构。以及在晶体管芯柱中的应用结果、解释了绝缘钝化机理．

PRODUCTION OF EXTREMELY HIGH VACUUM OF 10^(-11) Pa BY USING THE MOLECULE SINK TECHNOLOGY

At present, to produce a pressure of 10-10 Pa by using the liquid nitrogen-cooled titanium sublimation trap in vacuum system is reliable. The authors have solved experi-mentally the problems of application of the molecule sink technology on the basis of their study on kinetic theory of gas molecule in extremely high vacuum. The glass tubular Hel-