PECVD法制备的SnO_x气敏膜的色变机理

采用ＰＥＣＶＤ法制备了非晶掺Ｓｎ有机膜，经过退火处理得到ＳｎＯｘ气敏膜，考察了退火过程和气敏响应过程的阻温特性和颜色变化的关系，研究了表面掺Ａｇ对ＳｎＯｘ元件电阻、气敏性能以及颜色的影响，发现测量时膜表观色泽发生显著变化，并且颜色变化的深度与灵敏度大小相一致，颜色变化的快慢与响应时间的长短相一致，据此可望开发出色变气敏传感器。