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波长调制型PMMA光波导SPR传感器敏感单元设计
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作者 于永浩 周声超 +2 位作者 张美玲 张荣 孔梅 《半导体光电》 CAS 北大核心 2024年第3期406-409,共4页
光波导表面等离激元共振(SPR)传感器具有尺寸小、免标记、易集成等优点。文章设计了一种基于波长调制方法的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)脊型波导SPR传感器,并对其关键参数进行了优化。结果表明,该敏感单元在待测液折射率为1.33~1.45的范围... 光波导表面等离激元共振(SPR)传感器具有尺寸小、免标记、易集成等优点。文章设计了一种基于波长调制方法的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)脊型波导SPR传感器,并对其关键参数进行了优化。结果表明,该敏感单元在待测液折射率为1.33~1.45的范围内能够稳定工作,在高折射率检测区,传感器展现出了高达10220nm/RIU的灵敏度和173RIU^(-1)的高品质因数。 展开更多
关键词 表面等离激元共振 折射率传感 聚甲基丙烯酸甲酯 光波导传感器
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