一种基于SECS/GEM协议的设备端通讯接口SDK的设计

SECS/GEM通讯是应用于半导体制造设备和半导体工厂MES之间的通讯标准,半导体设备接入工厂的半导体MES,需要半导体设备按照SECS/GEM相关标准协议的要求实现通讯。为此,基于对SECS/GEM标准协议的研究分析,应用面向对象的设计方法,自上而下地进行软件设计和开发,提出一种整合了半导体设备通讯标准SECS/GEM的SDK,供设备端应用程序进行二次开发,为设备增添该通讯能力。SDK对SECS/GEM诸协议标准进行分层和实现、以动态链接库的形式进行封装、提供高级接口,并设计配置文件,将设备的本身特性进行分离,可以在不同类型的设备上进行部署。通过测试,验证了SDK可以满足SECS/GEM通讯要求,实现了标准中所述的各项能力,其可以应用于各类半导体制造设备的SECS/GEM通讯开发,实现与半导体工厂的MES互联。

基于机器视觉的五轴点胶机工件定位算法研发

为了避免为不同产品设计专用的复杂定位夹具、提高机床柔性化和自动化程度,研究了基于机器视觉的五轴点胶数控机床的工件定位算法。该文提出了一种耦合视觉系统的五轴机床运动学模型标定方法,平均重投影误差达到0.17像素水平。还提出了一种基于五轴机床运动学模型的工件定位算法,并采用机器视觉技术以及非线性优化方法实现了工件定位特征点的加工坐标求解,实验结果表明,通过定位结果求得的定位特征点两两实际物理距离与理论物理距离的平均误差为7.5μm。