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题名LIGA工艺中微电铸工艺研究
被引量:5
- 1
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作者
马龙
周月豪
熊良才
柳海鹏
史铁林
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机构
华中科技大学机械科学与工程学院
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期47-49,共3页
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基金
国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA421190)
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文摘
为了得到微米级的微型结构,先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微孔结构,并以此和光刻成型的微结构作为模具,进行了微电铸试验,通过对电镀参数方法进行调整和优化,改善了微结构加工中镀液难以进入孔隙、浓差极化严重、结晶粒子不能得到及时补充等缺点,得到了线宽为10μm级的微型结构。为进一步的微结构加工奠定了基础。
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关键词
微电铸
LIGA
准分子激光
PMMA
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Keywords
microelectroform
lithographie galvanoformung abformung (LIGA)
excimer laser
PMMA
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分类号
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名准分子激光直刻横向影响区实验研究
被引量:4
- 2
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作者
柳海鹏
周月豪
熊良才
史铁林
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机构
华中科技大学机械科学与工程学院
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期132-134,共3页
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基金
国家高技术研究发展计划 (八六三计划 )资助项目(2002AA421190)
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文摘
采用248nmKrF准分子激光直接刻蚀金属和半导体,在加工后的试件表面上观察到了横向影响区。将其定义为两个部分,通过各部分的大小和颜色变化情况来描述横向影响的程度,研究了它们与激光参数之间的关系。在实验结果的基础上,提出了减小横向影响区的措施和方法。
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关键词
准分子激光
直刻
横向影响区
脉冲激光参数
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Keywords
excimer laser
direct etching
transverse aff ect zone
parameters of pulse laser
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分类号
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名激光诱导湿刻在微结构加工中的应用
被引量:3
- 3
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作者
周月豪
柳海鹏
熊良才
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机构
华中科技大学机械电子信息工程系
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出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
2004年第10期43-47,共5页
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基金
国家技术研究发展计划(863计划)(编号2002AA421190)资助
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文摘
介绍了激光诱导湿刻技术在各种材料微加工中的应用,同时对其作用机理和刻蚀特性进行了简单探讨,并对其发展进行了展望。
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关键词
湿刻
刻蚀
微加工
激光诱导
微结构
导湿
材料
特性
作用机理
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Keywords
laser wet etching microstructure
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
TN43
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名准分子激光电化学刻蚀镍的特性研究
被引量:1
- 4
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作者
周月豪
柳海鹏
熊良才
史铁林
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机构
华中科技大学机械与工程学院
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出处
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期323-325,329,共4页
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基金
国家技术研究发展计划(863计划)(202AA421190)
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文摘
提出一种新的准分子激光电化学加工工艺,在阳极钝化区内,通过准分子激光照射,以实现无屏蔽的各向异性的微加工。对该工艺进行了可行性分析,并对其进行了初步试验,证实在钝化区,准分子激光导致刻蚀电流增加的幅度比较明显,在此基础上,深入研究了在准分子脉冲激光作用过程中,刻蚀电流与脉冲数、脉冲频率之间的关系。表明准分子激光在钝化区具有增强电化学特性的能力。
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关键词
准分子激光
电化学
阳极钝化
刻蚀
镍
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Keywords
excimer laser
electrochemical
anodic passivation
etching
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分类号
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名准分子激光增强金属电化学刻蚀特性实验研究
被引量:3
- 5
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作者
柳海鹏
周月豪
熊良才
史铁林
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机构
华中科技大学机械科学与工程学院
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出处
《应用激光》
CSCD
北大核心
2004年第4期201-202,200,共3页
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基金
本文受国家高技术研究发展计划(863计划编号2002AA421190)资助
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文摘
采用248nm KrF准分子激光照射电化学刻蚀中的金属阳极,记录过程中阳极电流的变化,对不同金属的阳极电流 曲线进行对比分析,发现在激光作用的时间内,阳极电流显著增大,激光作用过后,阳极电流迅速减小,而且脉冲频率越高阳 极电流增加的幅度越大,不同的金属阳极电流曲线有所不同,这反映准分子激光对不同金属电化学特性的增强有所差别。
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关键词
准分子激光
对比分析
作用
发现
增加
研究
增强
刻蚀
电流曲线
特性实验
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Keywords
excimer laser
electrochemical
enhanced
experimental study
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分类号
TN702
[电子电信—电路与系统]
R779
[医药卫生—眼科]
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