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题名镍基合金上FeCrAl薄膜应变计的制备与性能
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作者
陈长源
周世威
周枳仲
蒋书文
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机构
电子科技大学集成电路科学与工程学院电子薄膜与集成器件全国重点实验室
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出处
《中国仪器仪表》
2024年第11期69-73,共5页
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基金
国家重点研发计划(2021YFB3801700)
航空科学基金(20200046080001)。
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文摘
薄膜应变计是航空发动机涡轮叶片应变测量的可靠选择。本文以FeCrAl合金为敏感材料,在镍基合金DD6上制备了多层薄膜材料体系的FeCrAl薄膜应变计,并测试了不同温度环境下应变计的应变性能。结果表明,20℃,200℃,400℃和600℃时的应变灵敏系数为2.41,2.68,3.16和3.70;200℃,400℃和600℃的电阻温度系数为567.5ppm/℃,534.1ppm/℃,517.3ppm/℃,电阻漂移率为0.00118h^(-1),0.00167h^(-1),0.00181h^(-1)。
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关键词
薄膜应变计
FeCrAl合金
应变灵敏系数
电阻温度系数
电阻漂移率
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Keywords
Thin film strain gauge
FeCrAl alloy
Gauge facto
Temperature coefficient of resistance
Drift rate
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分类号
TG1
[金属学及工艺—金属学]
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