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题名硅掺杂对不同衬底的氮化铝薄膜的影响研究
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作者
王绪
杨发顺
熊倩
周柳含
马奎
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机构
贵州大学电子科学系
中国教育部半导体器件可靠性工程研究中心
贵州省微纳电子与软件技术重点实验室
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出处
《原子与分子物理学报》
CAS
北大核心
2025年第5期50-56,共7页
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基金
半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心开放基金(ERCME-KFJJ2019-01)。
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文摘
选择硅作为N型杂质源,采用高温热扩散的方式进行实验研究.采用磁控溅射法在硅/蓝宝石衬底上外延的AlN薄膜上沉积纯硅.硅的溅射时间决定了硅层的厚度,从而决定了硅的掺杂剂量.在氮气气氛下高温(1150℃)热扩散4小时后,AlN薄膜表面的硅原子扩散进入AlN晶格,取代铝原子的位置,形成掺杂硅的AlN薄膜.有效的硅掺杂导致AlN(002)衍射峰向一个较大的角度偏移,且偏移的角度随掺杂的浓度升高而增大.且硅衬底上的样品,使用能量色散光谱仪测试结果表明,衬底硅将作为固定的扩散源扩散到薄膜中,增加非故意掺杂浓度,因此可以在整个薄膜截面内测量到硅元素.蓝宝石的衬底的样品在热扩散后出现裂纹.
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关键词
N型氮化铝
硅掺杂
磁控溅射
热扩散
衬底反扩散
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Keywords
N-AlN
Si Doping
Magnetron sputtering
Thermal diffusion
Anti-diffusion of substrate
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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题名探析提升电解铝企业质量管理水平的具体措施
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作者
周柳含
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机构
广西百矿铝业有限公司
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出处
《中国科技期刊数据库 工业A》
2022年第11期63-65,共3页
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文摘
近年来,我国工业的快速发展,在需求量激增的同时,对于产品质量和生产企业的管理水平也提出了更高的要求。在电解铝企业的运营中,有效保证电解铝产品的质量是重中之重,传统的质量管理在快速发展的新形势下暴露了一些问题和弊端,提高质量管理水平,引入先进管理模式,通过提高企业管理水平来保证产品质量,降低企业成本迫在眉睫。本文就电解铝企业在质量管理上存在的一些问题进行梳理,并提出了对应性的改进质量管理水平的具体措施,以期为提高电解铝企业的管理水平提供借鉴。
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关键词
提升
电解铝企业
质量管理
措施
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分类号
F273.2
[经济管理—企业管理]
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题名大足北山石刻《古文孝经碑》价值浅析
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作者
李朝元
周柳含
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机构
中国计量大学大足石刻研究院
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出处
《黄河.黄土.黄种人》
2017年第12X期58-60,共3页
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文摘
在世界文化遗产大足石刻的北山石刻中段,摩崖刻有北宋范祖禹撰写的《古文孝经》。该碑与《赵懿简公神道碑》(又称《蔡京碑》)同窟,分刻于龛内、龛外左右崖壁,由6块石面组成,通编为103号(图一)。碑上文字楷书竖刻,由龛左至龛右,共66行,每行满行的有28字,字径8厘米,行距6厘米,字距3厘米,共计1819字。今碑漶蚀202字,校补143字。
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关键词
北山石刻
大足石刻
古文孝经
范祖禹
佛教圣地
孝道文化
高而不危
佛教中国化
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分类号
K877.42
[历史地理—考古学及博物馆学]
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