多层结构钛酸锶铅薄膜及介电调谐与温度稳定性

在研究组分、溶胶浓度对钛酸锶铅（10ST）薄膜结构、介电、调谐性能等影响的基础上，设计一种以低损耗-高调谐-低损耗组分交替沉积的方法，研制了三明治多层结构的PST薄膜（PST20-40-20）．研究结果表明，这种三明治多层结构的薄膜表面致密，晶粒均匀，同时具有调谐率高、损耗低等特点，综合性能比单组分要好，其调谐率、优值分别为52和45．在20～100℃范围内调谐率变化幅度小于8％，提高了温度稳定性．